分子泵軸承的種類包括:
油脂潤滑軸承:*近開發(fā)出的有效粘度低,蒸汽壓*低的軸承用油脂,使渦輪分子泵避免了在抽氣時(shí)或放大氣時(shí)都要小心,尤其當(dāng)轉(zhuǎn)子在高速工作時(shí)以免高速流動(dòng)的油進(jìn)到入口處。對油脂軸承,這樣顧慮是不必要的。因此,*的油污染是通過停泵時(shí)泵中油的氣相擴(kuò)散。
油潤滑軸承:現(xiàn)在大部分渦輪分子泵轉(zhuǎn)子都用油潤滑軸承。因?yàn)檫@種軸承在轉(zhuǎn)子的排氣側(cè),因此油蒸汽不會(huì)到達(dá)渦輪分子泵的入口。油通過軸上開的倒錐孔上油潤滑上、下軸承。
磁懸浮軸承:這種磁懸浮軸承在渦輪分子泵上得到廣泛地應(yīng)用,壽命可以無限長,因?yàn)檗D(zhuǎn)動(dòng)體和支撐物之間沒有接觸,可在無潤滑情況下工作。如果在電磁激勵(lì)線圈上用了有機(jī)絕緣材料,則有可能存在碳?xì)浠衔镂廴驹磫栴}。線圈過熱時(shí)更是如此。磁軸承的振動(dòng)和噪音水平很低。磁控電路功率非常小。
氣膜軸承:使用空氣膜軸承的渦輪分子泵已有商品出售,因?yàn)榭諝廨S承需要在連續(xù)不斷地供給無顆粒物的干燥的高壓空氣。這樣空氣源的故障將會(huì)引起金屬高速摩擦接觸,使軸承瞬間遭到破壞。在泵突然振動(dòng)或空氣突然沖入單端泵時(shí),會(huì)猛推轉(zhuǎn)子,空氣膜的強(qiáng)度必須是以防止接觸。必須經(jīng)常保持空氣源壓力大大增加,使空氣壓強(qiáng)是以克服這種偶然出現(xiàn)的推力。
以上就是分子泵軸承的主要種類及其特點(diǎn)。需要注意的是,在選擇分子泵軸承時(shí),需要考慮具體的應(yīng)用場景和技術(shù)要求。