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  分子真空泵（以下簡(jiǎn)稱分子泵）因其工作穩(wěn)定可靠，在分子流態(tài)下具有很好的抽氣效率，已經(jīng)成為清潔高真空、超高真空應(yīng)用領(lǐng)域的主流設(shè)備，在科學(xué)儀器、工業(yè)生產(chǎn)中得到廣泛應(yīng)用。

   分子泵的抽氣機(jī)理與機(jī)械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機(jī)理不同。分子泵是基于動(dòng)量傳遞原理，在變頻電源驅(qū)動(dòng)電機(jī)的帶動(dòng)下高速旋轉(zhuǎn)，分子流區(qū)域內(nèi)氣體分子與高速轉(zhuǎn)動(dòng)的葉片表面碰撞，動(dòng)量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子產(chǎn)生定向流動(dòng)而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。

分子泵抽真空的時(shí)間取決于許多因素，例如真空室的尺寸、所需的Z終真空度、泵的類型和規(guī)格以及泵的操作方式等。一般來(lái)說，分子泵抽真空速度比較快，可以在幾分鐘內(nèi)將真空度降到10^-6Pa以下。