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無(wú)油渦旋真空泵的工作原理是通過(guò)兩條漸開(kāi)線螺旋曲線盤(pán)構(gòu)成，即一個(gè)靜渦旋盤(pán)和一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)。動(dòng)渦旋盤(pán)作偏心安裝，靜渦旋盤(pán)與動(dòng)渦旋盤(pán)便形成月芽形腔體。隨著動(dòng)渦旋盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)，月芽形腔體不斷向里旋轉(zhuǎn)壓縮，Z后從中間排出至出氣口。動(dòng)渦旋盤(pán)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，氣體不斷從進(jìn)氣口吸入、壓縮，由出氣口排出，形成真空

目前無(wú)油渦旋真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)?
①半導(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備
②科學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測(cè)試儀器
③機(jī)械設(shè)備行業(yè)——材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)、材料提純?cè)O(shè)備
④化學(xué)工業(yè)
⑤醫(yī)*設(shè)備——牙科儀器、透析機(jī)、生物制品與藥品制備
⑥包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備