渦輪分子泵也是一種機械式真空泵，通過高速旋轉的多級渦輪轉子葉片和靜止葉片的組合進行抽氣的，在分子流區(qū)域內(nèi)對被抽氣體產(chǎn)生很高的壓縮比，從而獲得所需要的真空性能。渦輪分子泵*限真空比擴散泵高，可達10^-8pa。正常工作時需要一定的前級真空度，其真空度高低視泵不同略有差異，一般在1-200Pa之間，可采用機械泵作為前級泵，高真空機組是由分子泵和機械泵組成的。由于渦輪分子泵的轉速高，通常用中頻電機帶動，中頻電源的頻率在300-400Hz之間。渦輪分子泵一般采用水冷方式。
操作渦輪分子泵注意事項
1.選擇系統(tǒng)前級泵的的大小時，應使渦輪分子泵的前級保持在分子流的狀態(tài)下
2.不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉速下運行
3.分子泵入口應裝設防護網(wǎng)，以避免異物進入泵內(nèi)損壞泵的轉子和定子葉片
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