渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。
渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲和解吸效應(yīng)，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。
渦輪分子泵結(jié)構(gòu)組成
渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉(zhuǎn)子（即動葉輪）、靜葉輪和驅(qū)動系統(tǒng)等組成。
渦輪分子泵工作原理
主要有立式和臥式兩種。
渦輪分子泵特點(diǎn)
抽速大、無油、啟動快、無油污染、維護(hù)簡單
工作范圍：清潔的低真空~中、高真空，大氣~超高真空
ji限真空：10-6/ 10-10torr
缺點(diǎn)：結(jié)構(gòu)復(fù)雜、對軸承耐磨程度要求高、制造成本高
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