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分子泵過(guò)流保護(hù)分為恒速運(yùn)行中過(guò)流保護(hù)與加速中過(guò)流保護(hù)兩種情況，應(yīng)分別診斷:

1.恒速運(yùn)行中過(guò)流保護(hù)可能情況:分子泵運(yùn)行中負(fù)載突變檢測(cè)方式及建議:
觀察系統(tǒng)真空度變化過(guò)程;
若出現(xiàn)較明顯變化(如10~-4Pa降至10~-1Pa)，則會(huì)出現(xiàn)過(guò)流保護(hù)情況。

2.加速中過(guò)流保護(hù)可能情況:系統(tǒng)漏氣、真空度較差
檢測(cè)方法及建議:
觀察分子泵前級(jí)真空度是否優(yōu)于10Pa;
用檢漏儀對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行整機(jī)檢漏，確保系統(tǒng)無(wú)漏;
確保系統(tǒng)漏率在允許范圍內(nèi)且前級(jí)優(yōu)于10Pa后重啟分子泵。