分子泵維修配件主要包括以下幾種:
1. 密封件:密封件是分子泵維修中常見的配件,用于確保泵的密封性能,防止氣體泄漏。
2. 軸承:軸承是分子泵的關(guān)鍵部件,負(fù)責(zé)支撐和減少摩擦。
3. 導(dǎo)葉:導(dǎo)葉用于引導(dǎo)氣體流動,其形狀和數(shù)量對泵的性能有重要影響。維修時(shí)可能需要更換損壞或磨損的導(dǎo)葉。
4. 氣體吸入口和排出口部件:這些部件負(fù)責(zé)氣體的進(jìn)出,維修時(shí)可能需要更換損壞的吸入口或排出口部件。