渦輪分子泵利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣。其結(jié)構(gòu)主要由轉(zhuǎn)子和定子組成,通過(guò)連續(xù)開(kāi)啟增加壓縮效果的多個(gè)泵級(jí),可以獲得高達(dá)10^-13的壓縮比。渦輪分子泵油污染問(wèn)題的維修方法主要包括以下幾種:
1.更換渦輪分子泵:如果渦輪分子泵已經(jīng)使用了很長(zhǎng)時(shí)間,或者油污染嚴(yán)重,可能需要更換新的渦輪分子泵。這通常是Z直接的解決方案。
2.清洗渦輪分子泵:如果渦輪分子泵仍在保修期內(nèi),或者維修成本相對(duì)較低,可以考慮進(jìn)行清洗。清洗過(guò)程包括拆卸泵體,清除內(nèi)部的油污和雜質(zhì),然后重新組裝并測(cè)試。
3.檢查和維護(hù):為了防止渦輪分子泵再次出現(xiàn)油污染問(wèn)題,建議定期檢查和維護(hù)渦輪分子泵。這可能包括更換潤(rùn)滑油、清潔過(guò)濾器、檢查密封性等