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分子泵過載故障的主要原因包括以下幾種‌：
1.    ‌顆粒堆積‌：分子泵在使用過程中會受到氣體分子的撞擊和吸附，形成顆粒。如果這些顆粒沒有及時清理，會逐漸堆積在泵內(nèi)壁上，導(dǎo)致泵的性能降低，Z終可能導(dǎo)致過載停機‌。
2.    ‌泵內(nèi)漏氣‌：分子泵在使用過程中可能會出現(xiàn)漏氣問題，導(dǎo)致泵內(nèi)氣體壓力升高，增加泵的負(fù)載，從而引發(fā)過載停機‌。
3.    電源與電機故障‌：電源未接通、保險絲熔斷、電源開關(guān)損壞、電源故障、電機過載、過熱、斷路或短路等問題，都可能導(dǎo)致分子泵無法正常工作‌。
4.    ‌控制系統(tǒng)問題‌：控制器故障、通信連接問題、啟動命令未回復(fù)等，都可能導(dǎo)致分子泵無法正常工作‌。
5.    ‌泵體溫度過高‌：長時間運轉(zhuǎn)后，泵體溫度升高，可能是由于散熱系統(tǒng)出現(xiàn)問題，如散熱風(fēng)扇故障或通風(fēng)口堵塞‌。