1、在系統(tǒng)中做主泵
所謂主泵便是對(duì)真空系統(tǒng)被抽容器直接停止抽真空，以契合工藝要求所需真空度的真空泵。
2、粗抽泵
粗抽泵是指從大氣壓初步失落真空系統(tǒng)壓強(qiáng)到達(dá)另一抽氣系統(tǒng)能夠初步工作的真空泵。
3、前級(jí)泵
前級(jí)泵是指用于使另一個(gè)泵的前級(jí)壓強(qiáng)保持在其前級(jí)壓強(qiáng)以下的真空泵。
4、保持泵
保持泵是指認(rèn)真空系統(tǒng)抽氣很小時(shí)，不可以有用的使用重要前級(jí)泵。為此，在真空系統(tǒng)中另配一種抽氣速率較小的協(xié)助前級(jí)泵來保持主泵的正常工作或保持已抽閑的容器所需的高壓的真空泵。
5、粗真空泵或低真空泵
粗、低真空泵是指從大氣初步，失落被抽容器的壓強(qiáng)后工作在低真空或粗真空壓強(qiáng)領(lǐng)域內(nèi)的真空泵。
6、高真空泵
高真空泵是指在高真空領(lǐng)域工作的真空泵。
7、超高真空泵
超高真空泵是指在超高真空領(lǐng)域工作的真空泵。
8、增壓泵
增壓泵平日指工作在低真空泵和高真空泵之間，用以進(jìn)步抽氣系統(tǒng)在中心壓強(qiáng)領(lǐng)域的抽宇量或失落前級(jí)泵抽氣速度要求的真空泵。
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