質(zhì)譜分子泵作為高真空獲取設(shè)備的核心組件，在半導(dǎo)體制造、科研儀器航空航天等領(lǐng)域發(fā)揮著不可替代的作用。其工作原理基于氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)葉片之間的動(dòng)量傳遞效應(yīng)，通過多級(jí)渦輪結(jié)構(gòu)將氣體分子從進(jìn)氣口定向壓縮至排氣口，形成穩(wěn)定的真空環(huán)境。以渦輪分子泵為例，內(nèi)部通常包含十五至三十級(jí)不等的不銹鋼葉片，轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速可達(dá)每分鐘六萬轉(zhuǎn)，在葉片傾角為20-40度的設(shè)計(jì)下，氣體分子碰撞葉片后產(chǎn)生軸向速度分量，逐級(jí)向下傳遞形成壓力梯度。
工作原理
渦輪分子泵的工作原理基于動(dòng)量傳遞原理。高速旋轉(zhuǎn)的葉片通過動(dòng)量轉(zhuǎn)移將氣體分子推向排氣口，從而實(shí)現(xiàn)高真空抽取。具體來說，氣體分子撞擊到葉片上后被吸附在那里，并在短時(shí)間內(nèi)再次離開葉片，葉片的速度與分子熱運(yùn)動(dòng)速度疊加，形成定向流動(dòng)，Z終被抽走
應(yīng)用領(lǐng)域
質(zhì)譜儀分子泵廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域，特別是在質(zhì)譜分析和電子顯微鏡等設(shè)備中。它能夠提供必要的真空條件，確保分析的準(zhǔn)確性。此外，在半導(dǎo)體行業(yè)，分子泵對(duì)于制造電子組件、集成電路以及柔性太陽能電池等至關(guān)重要
在線客服
13728080527
