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渦輪分子泵的特點(diǎn)很多，但是隨著我國機(jī)械、、電子、化工等領(lǐng)域的高速發(fā)展，渦輪分子泵想要擴(kuò)大它的市場占有率，其需要克服的難題還有很多。這些不僅僅需要人士的專研，同時(shí)也需要各界的共同努力，對(duì)渦輪分子泵特點(diǎn)的進(jìn)一步研究，相信在未來是個(gè)值得突破的課題。
典型的渦輪分子泵抽氣系統(tǒng) ，抽氣系統(tǒng)設(shè)置分開的粗抽管道和前級(jí)管道，這種系統(tǒng)和常用的擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)類似，其粗抽管道和前級(jí)管道的基本配置與擴(kuò)散泵不同。擴(kuò)散泵的正常運(yùn)轉(zhuǎn)要求前級(jí)泵具有足夠大的抽速，以便在很大排氣量時(shí)前級(jí)壓力能低于臨界前級(jí)壓力，在渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)中，要選擇具有足夠容量的前級(jí)泵，使很靠近前級(jí)管道的葉片在很大排氣量時(shí)處于分子流或者正好處于過渡流。
大多數(shù)渦輪分子泵的很大穩(wěn)態(tài)進(jìn)氣口壓力P1在0.5~1Pa之間，而很大前級(jí)壓力P2約為30Pa。因?yàn)榕艢饬繛橐怀?shù)，即P1S1=P2S2， （1）式（1）表明，渦輪分子泵抽速和前級(jí)泵抽速之S1/S2比應(yīng)該在30到60的范圍內(nèi)，對(duì)于很大的對(duì)氫壓縮比小于500的泵來說，其級(jí)配比應(yīng)該為20：1。1-渦輪分子泵；2-液氮冷阱；3-放氣閥；4-電離規(guī)；5-熱傳導(dǎo)規(guī)；6-粗抽閥；7-機(jī)械泵；8-前級(jí)管路閥；9-高真空閥。
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渦輪分子泵的工作特性主要表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：
（1）抽速與轉(zhuǎn)速的關(guān)系抽速與轉(zhuǎn)速之間的關(guān)系大致為S（4-67）。其中：g是由幾何形狀決定的常數(shù)；u是活動(dòng)刀片的轉(zhuǎn)速。隨著速度的增加，泵送速度比直線略慢。這可以通過在抽速較高時(shí)對(duì)進(jìn)氣管電導(dǎo)率的限制來解釋。根據(jù)（4-66），隨著S1的增加，S將偏離直線。
（2）泵送速度與入口壓力之間的關(guān)系在分子流的壓力范圍內(nèi)，分子泵的泵送速度幾乎沒有變化。因?yàn)榉肿与妼?dǎo)C與分子流動(dòng)過程中的壓力無關(guān)；根據(jù)公式（4-65），S1僅確定葉片形狀，速度和氣體類型，并且與壓力無關(guān)。因此，根據(jù)公式（4-66），實(shí)際抽速與壓力無關(guān)。但是，當(dāng)增加壓力以不滿足分子流動(dòng)條件（大約2×101Pa）時(shí)，由于大多數(shù)分子無法直接與葉片碰撞，因此泵速會(huì)迅速降低。如圖4-62的右側(cè)所示，曲線1、2和3對(duì)應(yīng)于壓縮比與不同前級(jí)泵
（3）的速度和相對(duì)分子質(zhì)量之間的關(guān)系。壓縮比與速度的平方根和相對(duì)分子質(zhì)量成指數(shù)關(guān)系（G（4-68在公式中，G是由幾何形狀確定的參數(shù)。測量結(jié)果與公式基本一致。圖4-63顯示壓縮比，其中：p代表前級(jí)泵端口的壓力和力，代表分子，泵的入口壓力，在相同速度下，大的氣體分子具有大的壓縮比，高的極限真空，輕質(zhì)氣體成分，壓縮比小，極限真空低，即輕質(zhì)分子主要處于分子泵的極限真空中；除去氫，氦等輕質(zhì)分子的能力較弱。重量具有較高的壓縮比，這是渦輪分子泵可用于獲得清潔真空的物理基礎(chǔ)
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渦輪分子泵的工作原理，結(jié)構(gòu)型式及其優(yōu)缺點(diǎn)。
為了利用渦輪分子泵，獲得清潔真空，國外多利用干式機(jī)械泵作其前級(jí)泵，構(gòu)成無油的真空系統(tǒng)。然而，目前國內(nèi)渦輪分子泵多以油封機(jī)械泵為其前級(jí)泵，構(gòu)成了有油真空系統(tǒng)，如果操作不當(dāng)，很難避免油蒸汽返流，對(duì)真空系統(tǒng)的污染。利用有油系統(tǒng)獲得清潔真空，國內(nèi)外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作經(jīng)驗(yàn)。
應(yīng)用：當(dāng)今，現(xiàn)代化的半導(dǎo)體行業(yè)中，越來越多地應(yīng)用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設(shè)備都需要在真空環(huán)境下運(yùn)行。又如電子顯微鏡，表面分析儀器，殘余氣體分析儀及氦質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來抽真空。此外，在宇宙模擬設(shè)備、核聚變裝置、太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)線上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來代替油擴(kuò)散泵系統(tǒng)，以防止油蒸汽的污染。
因此，很近十幾年來，渦輪分子泵，在國內(nèi)、外都得到了顯著的改進(jìn)和發(fā)展。在渦輪分子泵的應(yīng)用日益增加干式的前級(jí)泵還沒有大量普及和應(yīng)用的情況下，有時(shí)還不得不用油封機(jī)械泵來作渦輪分子泵的前級(jí)泵。因此，針對(duì)這種現(xiàn)狀，對(duì)渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。
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