廣州潽拓光電科技有限公司——OSAKA真空分子泵
1950年成立的株式會(huì)社大阪真空機(jī)器制作所,主要以真空機(jī)器、真空泵的開發(fā)制造銷售及售后服務(wù)為標(biāo)準(zhǔn)。其真空泵產(chǎn)品的種類和覆蓋面十分全,包括渦輪分子泵、干式真空泵、羅茨真空泵、滑閥真空泵、液環(huán)真空泵、噴射泵、真空設(shè)備、真空系統(tǒng)等。
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大阪真空的業(yè)務(wù)領(lǐng)域,是通過真空泵以及相關(guān)技術(shù)·技能,為客戶提供符合其先端生產(chǎn)工程、分析 、R&D等各個(gè)工作環(huán)節(jié)要求的真空系統(tǒng)。 這里對(duì)先端的定義、是指在開發(fā)新技術(shù)的同時(shí),對(duì)原先的技術(shù)加以靈活運(yùn)用,實(shí)現(xiàn)設(shè)備的高度利用、安定利用,從而提高設(shè)備的使用效率。
日本大阪分子泵TG-F系列的特點(diǎn)任意角度安裝:360度任意角度安裝,設(shè)備的角度可隨意設(shè)計(jì)!
可以直接安裝在真空腔體上,防止流導(dǎo)損失所導(dǎo)致的排氣速度的減小??煽磕陀茫菏褂昧霜?dú)自開發(fā)的軸承,耐大氣沖擊的構(gòu)造!
另外,耐振動(dòng),可以避免由振動(dòng)引起的泵的問題或繁瑣操作。使用破空功能可迅速停止:通過打開破空閥,可以迅速停止泵。
※有些機(jī)型無此功能。迅速啟動(dòng):?jiǎn)?dòng)快,待機(jī)時(shí)間短不需要維護(hù):不需要補(bǔ)脂潤(rùn)滑,也不需要天天維護(hù)。
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大阪真空渦輪分子泵越來越多地用于現(xiàn)代半導(dǎo)體工業(yè)。 濺射、蝕刻、蒸發(fā)、注入、分子束外延和離子處理等設(shè)備都需要在真空環(huán)境中運(yùn)行。 近十年來,國(guó)內(nèi)外渦輪分子泵得到了顯著的改進(jìn)和發(fā)展。 在渦輪分子泵的應(yīng)用日益增多的情況下,干式前級(jí)泵并沒有得到廣泛的推廣和應(yīng)用,有時(shí)不得不使用油封機(jī)械泵作為渦輪分子泵的前級(jí)泵。 因此,針對(duì)這種情況,渦輪分子泵的合理選擇和正確運(yùn)行顯得非常重要。
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大阪渦輪(復(fù)合)分子泵
用 途■小型實(shí)驗(yàn)設(shè)備的排氣■裝載室,搬送式排氣■分析?測(cè)量?jī)x器的排氣■吸附?搬送■的排氣■封裝排氣■電子,離子源的排氣■干燥■濺射蒸鍍等PVD設(shè)備排氣■小型爐排氣■分子泵等高真空泵的輔助泵
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分子泵輸送氣體應(yīng)滿足二個(gè)必要條件:1). 渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)下工作。2). 分子泵的轉(zhuǎn)子葉片必須具有與氣體分子速度相近的線速度
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