潽拓——Edwards真空泵修理公司，分子泵
日本島津 SHIMADZU TMP-1303LMEC-T2分子泵
Shimadzu TURBO Pump Controllers 日本島津分子泵電源：
EI-D203M、EI-D303M、EI-D403M、EI-D803M、EI-D1003M、 EI-D1103M、 EI-D1303M 、EI-D2003M 、EI-D3403M、 EI-R04M、 EI-D2203M 、EI-D3203M 、EI-D4203M、EI-3203MD、EI-S04M等
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磁懸浮分子泵工作原理
它是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。
Shimadzu EI-D2003M島津磁懸浮分子泵控制器輸入電壓單相AC200～240V，額定頻率450Hz，所需電力1.2kVA，島津EI-D2003M磁懸浮分子泵驅動器可以控制的分子泵有Shimadzu TMP-2003M/MC、TMP-2003LM/LMC等
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渦輪分子泵只有在通過其的氣流是自由分子流時 才能工作。換句話說，氣體壓力必須足夠低，以使分子撞擊周圍表面的頻率比分子間的碰撞的頻率更加頻繁。因此，該泵僅在使用粗抽泵將壓力降低到約 0.1Pa 之后才能實現(xiàn)超真空條件。
Shimadzu TMP-203LM/LMC島津磁懸浮分子泵維修，日本島津TMP-203LM/LMC/TMP-203M/MC磁懸浮渦輪分子泵進氣法蘭口VG100/ICF152/ISO100B/ISO100C，出氣法蘭口KF25，抽速可達到190 L/s，轉速為50000 rpm，極限壓力1 x 10-10 Torr(1.3 x 10-10 mbar)，島津TMP-203M/MC磁懸浮分子泵對應的控制器為：Shimadzu EI-D203M
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