廣州潽拓光電科技有限公司——愛德華分子泵維修保養(yǎng)
島津是的渦輪分子泵(TMP)制造商之一。島津TPM主要用于為制造半導(dǎo)體器件、太陽能電池和平板顯示器提供不可或缺的高真空環(huán)境。
島津生產(chǎn)的TMP具有國際水準(zhǔn)的氣體吞吐量和抽氣速度,可滿足日益嚴(yán)格的半導(dǎo)體制造的工藝需求。例如,使制造商能夠在大面積硅片上沉積和蝕刻半導(dǎo)體薄膜。
我司特針常用的 Shimadzu TMP3203渦輪分子維修保養(yǎng)內(nèi)容如下:
1、超聲波清洗轉(zhuǎn)/定子葉片及腔體 并烘干
2、更換了全套陶瓷軸承,油棉及密封件等損耗品
3、馬達(dá)線圈阻值測(cè)量,轉(zhuǎn)子定子間隙測(cè)量
4、根據(jù)ISO1940/1& ANSI S2.19,調(diào)整測(cè)試動(dòng)平衡至G0.16標(biāo)準(zhǔn),
5、測(cè)試0-27000rpm啟動(dòng)時(shí)間<3分鐘*測(cè)試極限真空值<1.0*10-7mbar等
6、持續(xù)模擬生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試24小時(shí),
7、0-20KHz震動(dòng)頻譜加速度分析
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分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的-種真空泵凹。其應(yīng)用領(lǐng)域包括分析、半導(dǎo)體工業(yè)、光學(xué)、玻璃工業(yè)、涂層技術(shù)、真空冶煉、檢漏技術(shù)、科研設(shè)備、照明用具行業(yè)等。
日本島津磁懸浮TMP-4304分子泵保養(yǎng)對(duì)應(yīng)的控制器為:Shimadzu EI-R04M,島津TMP-4304LMTC大流量分子泵,Shimadzu鍍膜真空設(shè)備泵保養(yǎng)
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島津磁懸浮分子泵維修,鍍膜設(shè)備泵保養(yǎng),磁懸浮分子泵具有無摩擦,無需潤滑,無污染,高轉(zhuǎn)速,壽命長等優(yōu)點(diǎn)。
Shimadzu TMP-V2304LM分子泵進(jìn)氣法蘭口VG250/ISO250B,出氣法蘭口KF40,日本島津TMP-V2304LM (PB)磁懸浮分子泵自帶控制器
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