廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵 維修進(jìn)口真空泵
當(dāng)停泵后，碳氧化合物返流很快通過泵進(jìn)入直空室內(nèi)，如果系統(tǒng)仍保持在直空狀態(tài)下，碳?xì)饣衔飳?huì)粘在清潔的葉片和直空室的表面上，在隨后再運(yùn)轉(zhuǎn)該系統(tǒng)時(shí)，將極難抽除粘著的碳氧化合物，另一方面，在渦輪分子泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，如果給泵充入干燥氙氣或干燥空氣，剛該干燥氣體將給暴露的表面提供一層氣體保護(hù)層，而且在系統(tǒng)充氣后，返流的碳氧化合物由于與充入的氣體混合起來，從而它的粘著能力很弱，在混合氣體中碳氧化合物所占比例*小，在下一次抽空時(shí)也很快就能被抽走。
一般導(dǎo)致真空泵無法正常啟動(dòng)的原因
1、驅(qū)動(dòng)電機(jī)電壓不正確或過載。維修進(jìn)口真空泵
解決辦法：提供電機(jī)正確的電壓。
2、電機(jī)啟動(dòng)器過載保護(hù)太小或設(shè)定值太低。
解決辦法：將電機(jī)啟動(dòng)器過載保護(hù)的設(shè)定數(shù)據(jù)與電機(jī)銘牌的數(shù)據(jù)相對(duì)照，必要時(shí)，請(qǐng)校正。如果環(huán)境溫度較高：可將設(shè)定值根據(jù)正常電機(jī)電流提高5%。
3、保險(xiǎn)絲熔斷。
解決辦法：檢查保險(xiǎn)絲。維修進(jìn)口真空泵
在何處充氣
在渦輪分子泵的前級(jí)側(cè)充氣，能強(qiáng)制使碳氧化合物立刻通過渦輪分子泵流入真空室。另一方面，若在渦輪分子泵吸入側(cè)充氣，能達(dá)到以清潔氣體蕩蓋表面的目的。并使氣流流向渦輪分子泵(自上而下)，能暫時(shí)阻止、延遲碳?xì)浠衔锏姆盗?，也有些渦輪分子泵在壓縮級(jí)之間進(jìn)行中間充氣，它和在吸入側(cè)充氣控制碳?xì)饣衔锓盗鲙缀跬瑯佑行?。在超高真空系統(tǒng)中，在壓縮級(jí)充氣尤其*越。因?yàn)橹虚g充氣不需要價(jià)格昂貴的金屬密封的可烘烤的充氣閥。維修進(jìn)口真空泵
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廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵 阿爾卡特真空泵維護(hù)
羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵，分子增壓泵有極高的壓縮比，這除了使它能獲得清潔真空外還具有優(yōu)異的高真空性能，同時(shí)在中真空范圍也有超*的抽氣能力。這就使分子增壓泵成為目前唯yi兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級(jí)機(jī)組的高真空機(jī)組。阿爾卡特真空泵維護(hù)
分子增壓泵可以在100-50Pa工作，前級(jí)泵從大氣到這一壓力，基本遵從每經(jīng)過時(shí)間壓力降低一個(gè)數(shù)量級(jí)的規(guī)律，因此機(jī)組可以具有很高的抽氣效率。簡化高真空機(jī)組，取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個(gè)優(yōu)勢(shì)。阿爾卡特真空泵維護(hù)
對(duì)于較大型的高真空應(yīng)用設(shè)備，也可適當(dāng)加強(qiáng)前級(jí)泵的預(yù)抽能力，進(jìn)一步縮短抽氣時(shí)間，由于預(yù)抽時(shí)間與整個(gè)排氣過程相比很短，所以前級(jí)泵的使用時(shí)間也很短，因此可以兼作多套設(shè)備的預(yù)抽作用，而這往往是非?，F(xiàn)實(shí)的。這就使規(guī)模化應(yīng)用的真空機(jī)組得到大大的簡化。阿爾卡特真空泵維護(hù)
廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵 阿爾卡特真空泵維護(hù)
廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵 磁懸浮渦輪分子泵維修
含加熱模塊的磁懸浮分子泵主要用于半導(dǎo)體制造設(shè)備，在集成電路刻蝕等工藝過程中，部分工藝氣體容易冷卻凝結(jié)，附著在分子泵轉(zhuǎn)子及內(nèi)壁，造成分子泵轉(zhuǎn)子不平衡量增大或抽氣通道阻塞，影響分子泵的穩(wěn)定運(yùn)行。加上加熱模塊可以適當(dāng)提高泵體溫度，降低工藝氣體凝結(jié)，提高分子泵穩(wěn)定性及壽命。 磁懸浮渦輪分子泵維修
我們所稱呼的“質(zhì)譜儀單元”是氦氣檢漏儀的核xin部分。氣體從檢漏 儀的入口被導(dǎo)入質(zhì)譜儀單元。在這里用高能量的電子束對(duì)帶電的氣 體粒子進(jìn)行撞擊 電子束利用金屬絲在高溫下產(chǎn) 生。如果中性氣體粒子層的電子被撞擊，它會(huì)從電子層脫出。結(jié) 果，帶正電的氣體粒子—離子—留了下來。大部分導(dǎo)入的氣體粒子被電子之間的碰撞電離。 磁懸浮渦輪分子泵維修
分子泵的工作區(qū)間是有限制的，*大啟動(dòng)壓強(qiáng)也要在100pa，直接大氣啟動(dòng)只會(huì)長期處于過載狀態(tài)運(yùn)行，并無抽氣效果。 磁懸浮渦輪分子泵維修
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