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美國(guó)安捷倫Agilent TV81M就是意大利瓦里安Varian Turbo-V 81-M分子泵，又稱為Varian TV81-M分子泵，其與瓦里安的同門兄弟Varian Turbo-V 81-T,都是varian TV81系列，轉(zhuǎn)速都是80000，DN63口徑時(shí)，抽速都是77L/s，啟動(dòng)時(shí)間都是60秒，分子泵電源可以相互通用

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高真空泵可將腔室或系統(tǒng)抽空到高機(jī)械泵（10-3至10-8托）或極高機(jī)械泵（<10-8托）的壓力范圍內(nèi)。機(jī)械泵和文丘里管發(fā)生器在中等偏上至粗機(jī)械泵范圍內(nèi)運(yùn)行


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