廣州潽拓光電科技有限公司——英??捣肿颖镁S修阿爾卡特分子泵機(jī)組維修
INFICON B-A 型皮拉尼復(fù)合真空計(jì), BPG400, 將兩種真空計(jì)集成在一個(gè)簡單小型的單元內(nèi), 測(cè)量范圍從 5 x 10-10毫巴至大氣壓 (3.8 x 10-10乇至大氣壓). 復(fù)合技術(shù)降低了安裝, 設(shè)置和集成的復(fù)雜性. 選擇一個(gè)經(jīng)濟(jì)型規(guī)管內(nèi)的 BPG400 用于普及和可再現(xiàn)過程中的基本壓強(qiáng)測(cè)量.阿爾卡特分子泵機(jī)組維修
壓力測(cè)量中,除ji少數(shù)直接測(cè)量外,絕大多數(shù)是間接測(cè)量。就是先在被測(cè)氣體中引起一定的物理現(xiàn)象,然后再測(cè)量這一過程中與壓力有關(guān)的物理量,進(jìn)而設(shè)法確定壓力值。阿爾卡特分子泵機(jī)組維修
特點(diǎn)
從 5 x 10E-10mbar至大氣壓(3.8 x 10E-10Torr至大氣壓)的很寬廣的測(cè)量范圍
10E-8至10-2 mbar壓力范圍內(nèi),±5%you秀的重復(fù)性
BCG450 10Torr以上壓力測(cè)量無關(guān)氣體組分
皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)Bayard-Alpert系統(tǒng)在高壓操作下絲極過早燒毀和過度污染
長使用壽命氧化釔銥絲
備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場(chǎng)總線接口
高真空/皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)
符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
廣州潽拓光電科技有限公司——英??捣肿颖镁S修
廣州潽拓光電科技有限公司——英??捣肿颖镁S修Inficon真空計(jì) 維修保養(yǎng)廠家
間接測(cè)量真空計(jì) 壓力為10-1Pa時(shí),作用在1cm2表面上力只有10-5N,顯然測(cè)量這樣小的力是困難的。但可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來間接測(cè)量壓力的變化。
屬于這類的真空計(jì)有:
(1)壓縮式真空計(jì):其原理是在U型管的基礎(chǔ)上再應(yīng)用波義耳定律,即將一定量待測(cè)壓力的氣體,經(jīng)過等溫壓縮使之壓力增加,以便用U型管真空計(jì)測(cè)量,然后用體積和壓力的關(guān)系計(jì)算被測(cè)壓力。Inficon真空計(jì) 維修保養(yǎng)廠家
(2)熱傳導(dǎo)真空計(jì):利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)這一原理制成。常用的有電阻真空計(jì)和熱偶真空計(jì)。
(3)熱輻射真空計(jì):利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)原理。
(4)電離真空計(jì):利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離,產(chǎn)生的離子流隨電力變化的原理。如:熱陰極電離真空計(jì)、冷陰極電離真空計(jì)和放*性電離真空計(jì)等。
廣州潽拓光電科技有限公司——英??捣肿颖镁S修Inficon真空計(jì) 維修保養(yǎng)廠家
廣州潽拓光電科技有限公司——英福康分子泵維修英??嫡婵毡镁S修聯(lián)系電話
按照真空計(jì)測(cè)量原理所利用的不同的物理機(jī)制,可將主要的真空計(jì)分為三大類,分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)。利用力學(xué)性能的真空計(jì)典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī);利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī);利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。
氦質(zhì)譜檢漏背壓法
背壓法適用于那些行業(yè)?背壓法主要用于檢漏各種電子元器件。
采用背壓法進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí),首先將被檢測(cè)產(chǎn)品放入高壓氦氣室中,浸泡數(shù)小時(shí)或數(shù)天。如果被檢測(cè)產(chǎn)品表面有漏孔,氦將通過漏孔壓入被檢測(cè)產(chǎn)品的內(nèi)部密封腔,從而增加內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦分壓。然后取出被檢測(cè)產(chǎn)品,將表面殘留的氦氣吹出,然后將被檢測(cè)產(chǎn)品放入與檢漏儀連接的真空容器中。被檢測(cè)產(chǎn)品密封腔內(nèi)的氦氣將通過漏孔泄漏到真空容器,然后進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀,以測(cè)量被檢測(cè)產(chǎn)品的總泄漏率。檢漏儀給出的泄漏率值為測(cè)量泄漏率,需要通過轉(zhuǎn)換公式計(jì)算被檢測(cè)產(chǎn)品的等效標(biāo)準(zhǔn)泄漏率。
背壓法的優(yōu)缺點(diǎn)
背壓法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高,可實(shí)現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測(cè),可批量檢測(cè)。
背壓法的缺點(diǎn)是大型密封容器不能泄漏,否則由于密封腔體積過大,加壓時(shí)間過長。此外,每個(gè)測(cè)量泄漏率對(duì)應(yīng)兩個(gè)等效標(biāo)準(zhǔn)泄漏率。仔細(xì)檢查后,需要采用其他方法進(jìn)行粗略檢查,以消除大泄漏的可能性。
廣州潽拓光電科技有限公司——英??捣肿颖镁S修英??嫡婵毡镁S修聯(lián)系電話