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氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵，這種泵基本上有兩種類型：變?nèi)菡婵毡美帽们蝗莘e的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵，氣體在排出前被壓縮。

這種泵分為往復式及旋片式兩種：（1） 往復式真空泵：是利用泵腔內(nèi)活塞做往復式運動，將氣體吸入、壓縮并排出。因此，又稱為活塞式真空泵。（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔內(nèi)活塞做旋轉運動，將氣體吸入、壓縮并排出

振動頻率為60%-100%工作轉速，或者是密封間隙過大，護圈松動，密封磨損處理方法：檢查、調(diào)整或更換密封；振動頻率為2倍工作轉速,不對中，聯(lián)軸器松動，密封裝置摩擦，殼體變形，軸承損壞，支承共振，推力軸承損壞，軸彎曲，不良的配合處理方法：檢查，采取相應措施，修理、調(diào)整或更換；

真空泵的注意事項1、首先應該充分了解被抽氣體成分。如氣體中含不含可凝蒸氣、有無顆?；覊m、有無腐蝕性、性等；如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。2、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何，如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油隔膜真空泵，或者把油蒸氣排到室外。3、真空設備或者零部件對油污染的要求，若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：化學隔膜泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等，若要求不嚴格，可以選擇有油泵，并且加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。4、如有多臺大型水環(huán)式真空泵同時工作，循環(huán)液應該進行冷卻，否則影響真空度，冷卻裝置可以配備冷卻塔，同時須配增壓泵對管路加壓。5、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響，若環(huán)境不允許，應選擇無振動的泵或者采取減震措施。

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旋片式真空泵設備潤滑系統(tǒng)完好，潤滑油質符合規(guī)定要求，并定期進行檢查，換油。各種儀表（如真空表等）指示值正確，并定期進行校驗；各閥門啟閉靈活、密封良好，無泄漏現(xiàn)象；管道無泄漏，并定期進行檢查。電動機配備合理，運行正常（溫升和聲響正常），電氣線路an全可靠，有接地保護措施，電氣裝置（控制柜）可靠，電氣儀表指示正確；安全防護裝置齊全可。設備及冷卻系統(tǒng)設施整潔，無銹蝕。水環(huán)式真空泵冷卻系統(tǒng)運行正常，冷卻裝置完好，排水溫度不超過規(guī)定要求，應有斷水保護裝置。

一般來說所用的工作液都是水。礦用單軸振動篩作用在轉子葉輪上的能量被液體接收并傳給被壓縮的氣體，這樣就造成了水環(huán)的溫度升高。水環(huán)的部分水與氣體一起壓縮排除泵外。在壓縮過程中產(chǎn)生的大部分熱量被帶走。因而需要不斷的補充新鮮的水，以使水環(huán)泵的工作溫度能夠維持恒定。

電子與微電子工業(yè)：微電子技術要求電子元器件和電路的尺寸越來越小，集成度要求越來越高。這與真空技術的應用密不可分，特別是超大規(guī)模集成電路的微細加工技術，其幾何圖形結構的形成、超薄層生長技術、粒子束注入技術都需要高質量、清潔的真空環(huán)境，可見其發(fā)展對真空技術、裝備的依存性。目前，日本真空廠商的銷售額中60%左右是面向電子工業(yè)，而當今的超大規(guī)模集成電路大約有３／４的工序需要有真空條件。

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真空泵故障如何解決？真空泵維修方法

1、電機燒壞：主要為電機定子線圈燒毀，引起原因較多，如瞬間電流過大，電機軸承使用久了被磨損，致使軸承摩擦阻力變大，電機功率加大，引起溫度上升，燒毀電機。這時應先檢查電機軸承，再檢查電機線圈。軸承損壞就更換軸承；電機線圈燒毀則應維修電機，重新繞制定子線圈。軸承和線圈損壞嚴重時，就需更換電機了。

渦輪增壓分子泵的維護保養(yǎng)

(1)渦輪增壓分子泵在工作中時因為電機轉葉高速運行，對其機殼要當心維護，干萬不可以有外地人撞擊，不然會導致電機轉子同軸度偏移或滾動軸承損傷等無法修補的常見故障。

(2)含油軸承或混和滾動軸承的渦輪增壓分子泵各自每過2和四年就需要開展給油或拆換潤滑油脂的維護保養(yǎng)工作中，那樣分子泵才可以穩(wěn)定、靠譜地長期性運作。

 旋片卡阻：主要表現(xiàn)為旋片與泵腔內(nèi)表面的摩擦阻力過大，致使電機無法帶動旋片。原因是旋片變形，轉子內(nèi)的彈簧張開后不能復位，或彈簧壓力和旋片自身離心力的合力過大，導致旋片與泵腔內(nèi)表面的摩擦阻力過大。這時就應及時修復旋片和彈簧，若不能修復則應更換。

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