廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel真空泵 真空泵養(yǎng)護(hù)維修
單級旋片式真空泵的真空度只能到達(dá)1*10-2托,不能到達(dá)再高的原因是:
1、泵的布局上存在“有害空間”,空間中的氣體是無法排除的。當(dāng)旋片轉(zhuǎn)過排氣口后,這一有些氣體又被緊縮,經(jīng)過轉(zhuǎn)子與泵腔間的縫隙又回到吸氣空間,所以,“有害空間”越小,泵極限真空度越高。
2、泵腔被旋片分隔變成兩有些:排氣空間與吸氣空問,兩者間存在著必定的壓強(qiáng)差。當(dāng)排氣空間的氣體被緊縮得很小時(shí),壓弧很高,會(huì)經(jīng)過各種可能的路徑打破到吸氣空間去,使真空度下降。真空泵養(yǎng)護(hù)維修
3、泵油在泵體內(nèi)循環(huán)活動(dòng)進(jìn)程中會(huì)溶解進(jìn)很多氣體和蒸氣。在吸氣空間,因?yàn)閴簭?qiáng)較低,溶解的氣體又會(huì)跑出來,使泵的真空度不易進(jìn)步。
為了提高泵的極限真空度,除了提高泵體、轉(zhuǎn)子、旋片的加工精度,盡量削減安裝空隙和有害空間以外,真空可以認(rèn)為zui有用的辦法是將兩只單級泵串接起來,組合成雙級泵。這樣,極限真空度將提高,可達(dá)10-4托(進(jìn)口真空泵可到達(dá)10-5托)。真空泵養(yǎng)護(hù)維修
渦輪分子泵主要由一個(gè)外殼與轉(zhuǎn)子和定子組成。旋轉(zhuǎn)圓盤和固定圓盤交叉排列,一個(gè)轉(zhuǎn)子盤和一個(gè)定子盤組成一個(gè)泵級。轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)得越快,抽吸效果就越顯著?,F(xiàn)代泵的轉(zhuǎn)速已高達(dá)90 000 min-1,圓周速度為 400 m/s。而在1958年Willi Becker的自制樣機(jī)轉(zhuǎn)速就能達(dá)到142 m/s。真空泵養(yǎng)護(hù)維修
廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel真空泵真空泵養(yǎng)護(hù)維修
廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel真空泵 阿爾卡特渦輪分子泵維修
渦輪分子泵可短時(shí)承受大氣的沖擊,并有啟動(dòng)快、制動(dòng)快、比較潔凈的優(yōu)點(diǎn)。這種泵特別適用于在大排氣量下工作,壓力為 10-Pa 以上時(shí)泵的排氣量幾乎是定的,這時(shí)只與前級泵的大小有關(guān);在這個(gè)范圍內(nèi)可忽略抽速的不穩(wěn)定性和潤滑油的返流影響。這些特性恰好是油擴(kuò)散泵所不具備的。這一特點(diǎn),對于要求先抽到高真空,然后再在以壓力為 0.1~1Pa的真空系統(tǒng)內(nèi)以連續(xù)氣流工作的濺射薄膜沉積來說是十分重要的。阿爾卡特渦輪分子泵維修
在這個(gè)特殊管道中,蒸汽經(jīng)過噴嘴的出口到擴(kuò)壓器入口之間的這個(gè)區(qū)域(混合室),由于蒸汽流處于高速而出現(xiàn)一個(gè)負(fù)壓區(qū)。此處的負(fù)壓要比工作蒸汽壓強(qiáng)和泵出口處所能承受的大壓強(qiáng)(反壓強(qiáng))低很多。阿爾卡特渦輪分子泵維修
此時(shí),被抽氣體吸進(jìn)混合室,工作蒸汽和被抽氣體相互混合并進(jìn)行能量交換,把工作蒸汽靜壓能轉(zhuǎn)變來的動(dòng)能傳給被抽氣體,混合氣流在擴(kuò)壓器擴(kuò)張某而產(chǎn)生正激波,波后的混合氣流速度降為亞音速,混合氣流的壓力上升。亞音速的氣流在擴(kuò)壓器的漸擴(kuò)流動(dòng)時(shí)是降速增壓的?;旌蠚饬髟跀U(kuò)壓器出口處,壓力增加,速度下降,而后從壓出口排出。故噴射泵也是一臺(tái)氣體壓縮機(jī)。阿爾卡特渦輪分子泵維修
廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel真空泵 阿爾卡特渦輪分子泵維修
廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel真空泵 進(jìn)口真空泵維修
泵殼內(nèi)注有循環(huán)水,在抽真空時(shí),葉輪旋轉(zhuǎn),在離心力的作用下,泵殼內(nèi)的循環(huán)水被甩至葉輪四周,在泵殼內(nèi)壁形成一個(gè)旋轉(zhuǎn)水環(huán)。又因葉輪是偏心安裝在泵殼內(nèi)的,因此水環(huán)與牙狀葉片之間形成的空間大小不同。進(jìn)口真空泵維修
飛輪變形或螺桿磨損
長期使用后,泵內(nèi)部機(jī)械部件可能出現(xiàn)變形或損壞,從而影響泵的效率和性能。如飛輪變形或螺桿磨損,會(huì)導(dǎo)致泵的振動(dòng)、噪音和效率下降,此時(shí)需要拆除故障部件并更換新的零部件。進(jìn)口真空泵維修
真空泵的工作壓力應(yīng)該滿足工藝工作壓力要求,選型時(shí)真空度要高于真空設(shè)備真空度的半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級。(如:真空工藝要求100Pa的真空度,選用真空泵的真空度至少要50Pa-10Pa)。一般如果要求jue對壓強(qiáng)高于3300Pa,則優(yōu)先選擇水環(huán)式真空泵作為真空裝置,如果jue對壓強(qiáng)要求低于3300Pa,則不能選擇水環(huán)式真空泵,選擇旋片式真空泵或更高真空級別的真空泵作為真空獲得裝置。
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