廣州潽拓光電科技有限公司——愛德華渦輪泵
Edwards STP 磁懸浮渦輪分子泵系列因其質(zhì)量和可靠性在市場上享有很高的聲譽，并且是許多具有挑戰(zhàn)性的半導體應用的優(yōu)選分子泵。對于實驗室應用，STP 磁懸浮渦輪分子泵極為可靠，并且超長時間運行而無需維護。
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Edwards STPA1603C英國愛德華磁懸浮分子泵維修
小巧而強大的Edwards STPA1603C渦輪分子泵采用Edwards先進的轉子技術進行設計。它提供極高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能，滿足zui新一代半導體制程的需要。其半機架的控制器和緊湊型設計可節(jié)省可觀的空間，而其先進的沉積減少系統(tǒng)提高了可靠性和性能。STPA1603C已經(jīng)在zui新的200mm刻蝕工具上得到了證明，也能夠滿足新一代300mm氧化物腐蝕制程的需要。
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立式渦輪分子泵的優(yōu)點是：真空系統(tǒng)的結構簡單，在改裝舊有擴散泵系統(tǒng)時可直接替代擴散泵而無須改動真空系統(tǒng)結構；其次是泵內(nèi)只有一組渦輪葉片，因而價格較低廉。
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nEXT300D 是一種是混合軸承復合分子泵。它隨附 ISO100 或 CF100 入口法蘭，具備 300ls-1 的 N2 抽速。
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