廣州潽拓光電科技有限公司——瓦里安進(jìn)口分子泵
美國Agilent TwisTorr 304 FS渦輪分子泵維修
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盡量避免頻繁啟停分子泵在勻速工作時,轉(zhuǎn)子葉片僅受到離心力的作用(真空下阻力很小可以忽略不計(jì)),即遠(yuǎn)離軸心的方向的拉力;而在加速和減速的時候,葉片還受到轉(zhuǎn)動切線方向的力,相當(dāng)于對葉片進(jìn)行彎折的力。顯而易見,對葉片進(jìn)行彎折對其疲勞壽命的貢獻(xiàn)更大。
另外,分子泵在加速時功率較大,內(nèi)部發(fā)熱比較嚴(yán)重,頻繁的啟停(兩次啟動間隔<30 分鐘)會造成熱量累積,使分子泵內(nèi)部的溫度過高,加劇軸承磨損。
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TV 301導(dǎo)航器不含污染物,因此適用于需要“清潔”真空的應(yīng)用。它配備有輔助連接器,以提供一個附加的風(fēng)扇,以控制排氣閥,該風(fēng)扇通過通過串行線(RS232或RS485)連接的主機(jī)從遠(yuǎn)程站點(diǎn)進(jìn)行控制。TV 301 Tubro泵有四種型號,僅高真空法蘭有所不同。該泵由一個高頻電動機(jī)組成,該電動機(jī)驅(qū)動裝有8個葉片級和3個Macrotorr級的渦輪機(jī)。從高真空法蘭端看時,渦輪沿逆時針方向旋轉(zhuǎn)。該渦輪機(jī)由高強(qiáng)度鋁合金制成,并由一個整體加工而成。Macrotorr階段為四個光盤的形式。渦輪轉(zhuǎn)子由永jiu潤滑的高精度陶瓷球軸承支撐,該軸承安裝在泵的前排側(cè)。定子的靜葉片由不銹鋼制成。這些由墊片環(huán)支撐并精que定位。Macrotorr定子采用自定位的機(jī)加工盤形式,具有泵送通道和受相應(yīng)轉(zhuǎn)子盤限制的開口。這些由鋁合金制成。
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渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子葉片具有特定的形狀,在它以20000~30000r/min的高速旋轉(zhuǎn)的同時,葉片將動量傳給氣體分子。葉片高速旋轉(zhuǎn),其周邊的線速度一般200~300m/s,相當(dāng)于空氣分子平均速率的一半。為了獲得高真空,渦輪分子泵中裝有多級。上級葉片輸送過來的氣體分子又會收到下級葉片的作用繼續(xù)被壓縮到更下級。因此,渦輪分子泵的的一個特點(diǎn)是對一般氣體的抽出極為有效。例如對于氮?dú)?,其壓縮比可以達(dá)到109 但是渦輪分子泵抽除分子質(zhì)量較小的氣體能力較差,例如氫氣,其壓縮比僅有103 。
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電壓的不穩(wěn)定,特別對磁浮類的分子泵損傷較大。前級泵的效率差;我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過前級泵抽出,真空達(dá)到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差,分子泵就會比較吃力,啟動速度慢,抽氣時間長,電流高,分子泵溫度升高等。
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振動頻率為60%-100%工作轉(zhuǎn)速,或者是密封間隙過大,護(hù)圈松動,密封磨損
處理方法:檢查、調(diào)整或更換密封;
振動頻率為2倍工作轉(zhuǎn)速,不對中,聯(lián)軸器松動,密封裝置摩擦,殼體變形,軸承損壞,支承共振,推力軸承損壞,軸彎曲,不良的配合
處理方法:檢查,采取相應(yīng)措施,修理、調(diào)整或更換;