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XDS 泵的設(shè)計(jì)極具創(chuàng)新性,采用軸承屏蔽將真空環(huán)境與所有形式的潤(rùn)滑劑隔離開(kāi)來(lái),使之不僅完全干燥,而且完全密封。該屏蔽還能保護(hù)軸承免受任何制程蒸汽的影響。
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隨著真空應(yīng)用的發(fā)展以及真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對(duì)其應(yīng)用的廣泛性,真空泵在不同的工作壓力范圍和不同的工作要求下使用不同的類(lèi)型。分子真空泵,它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把能量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。
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(Boc Edwards)是英國(guó)老牌真空設(shè)備供應(yīng)商,是全 qiu zui大的真空設(shè)備供應(yīng)商,用于半導(dǎo)體、平板顯示器、LED和太陽(yáng)能電池制造, 及工業(yè)、制藥、化工、加工、玻璃鍍膜、食品包裝等行業(yè)。并且收購(gòu)了日本精工后Edwards更是進(jìn)一步確定了自己在IC Fab,TFT,OLED及Harddisk等生產(chǎn)領(lǐng)域的地位等分子泵。
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