廣州潽拓光電科技有限公司——瓦里安渦輪分子泵保養(yǎng)varian瓦里安真空泵維修
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氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵故障及處理
1、儀器界面上TMP顯示“0”即分子泵沒有工作
有可能是前級壓力過高(該分子泵的啟動壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵無法啟動。檢查導(dǎo)致壓力過高的項目有:真空規(guī)管是否有問題,分子泵出口是否打開,機械泵油是否太臟或機械泵是否轉(zhuǎn)動,系統(tǒng)是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子被損害,可自行用工具撥動葉片,判斷其能否轉(zhuǎn)動。
分子泵加速指示燈不亮
電路板上的保險絲燒斷,更換保險絲或檢查是否有短路現(xiàn)象。
分子泵故障燈亮
檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否處于R位置,此時應(yīng)該在N位置。檢查風扇是否停止,如風扇正常,則可能為氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵電源故障。
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廣州潽拓光電科技有限公司——瓦里安渦輪分子泵保養(yǎng)復(fù)合分子泵維修
真空泵維修,問題3、漏油:旋片式機械真空泵*常見的故障之一,主要發(fā)生在真空泵的油窗、油箱密封墊、電機軸承軸封三個位置上,其主要原因是真空泵使用時間過長而引起這些部位老化,密封失效,從而導(dǎo)致漏油。解決辦法:更換老化的油窗、軸封、密封墊和已吸滿泵油的毛氈墊,維修完成后,注油前應(yīng)用愛德華真空泵泵油沖洗真空泵,并用溶劑清洗注油口處的濾網(wǎng),以保持油箱的清潔。復(fù)合分子泵維修
在復(fù)合分子泵的設(shè)計中,必須處理好渦輪級與牽引級之間的應(yīng)配和銜接關(guān)系。由于渦輪級有較大的抽氣面積,抽速很大,而牽引級溝槽抽氣面積較小,在兩種結(jié)構(gòu)的聯(lián)接處,由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉(zhuǎn)變,使氣體分子的運動在聯(lián)接處由有序變成無序,至使返流增加,抽氣能力下降。因此,在設(shè)計時應(yīng)在渦輪級和牽引級轉(zhuǎn)換處加上過渡級結(jié)構(gòu),以提高泵的抽氣性能。復(fù)合分子泵維修
隨著復(fù)合分子泵的不斷改進,其應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣,在某些抽氣系統(tǒng)上可以替代擴散泵,縮短了系統(tǒng)的抽氣時間,并可獲得無油污染的清潔真空環(huán)境。
高真空泵有哪幾種
分子泵、冷泵、油擴散泵、羅茨泵、渦輪分子泵、鈦升華泵
特點和應(yīng)用場景
高真空泵具有高抽吸力、長壽命、低功耗的特點,廣泛應(yīng)用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。由于結(jié)構(gòu)原因,高真空泵不能在較差的真空狀態(tài)下工作,通常需要串接前級泵預(yù)抽真空。
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而我們會常用到的中高真空羅茨真空泵(機械增壓泵),為了保證真空度與抽氣效率,不會采用上述的改變。如強行直排大氣,會造成羅茨真空泵的吸氣口與排氣口壓差太大,從而使羅茨真空泵過載,無法工作。varian TV401 301分子泵維修,此時,如果加大羅茨真空泵電機功率,熱量增加,則會造成羅茨真空泵轉(zhuǎn)子過熱無法散去,而殼體散熱較快,之間形成高溫差,以致于羅茨真空泵轉(zhuǎn)子熱膨脹加速,它們之間以及與泵腔的間隙消失,進而卡死。varian TV401 301分子泵維修
真空泵抽氣慢怎么解決?
1、更換密封墊片,更換真空泵油,更換油封。
2、真空泵平時保養(yǎng)注意事項:一般情況下,真空泵工作2000小時后應(yīng)進行檢修,檢查橡膠密封件老化程度,檢查排氣閥片是否開裂,清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內(nèi)的零件,如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等。一般用清洗,并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。有條件的對管中同樣進行清理,確保管路暢通。
進口真空泵維修的方法如下:
1、操作員需要了解設(shè)備、泵和各種部件的外觀。
2、如果打開電源后出現(xiàn)異常情況,請立即清潔或關(guān)閉電源以查找原因。
3、冷卻液壓力應(yīng)在0.1至0.2Mpa之間,水溫應(yīng)為≤45℃.
4、在啟動每臺爐之前,請檢查維護氣缸的氣缸容量,并更換氣缸以避免填充。
5、始終檢查每個部件的回流量,并確保在操作過程中每個部件都有足夠的冷卻液
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