廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 Alcatel ATH1600M分子泵維修
Alcatel ATH1600M法國(guó)阿爾卡特磁懸浮分子泵維修,Alcatel ATH1600MT阿爾卡特分子泵進(jìn)氣法蘭口DN200ISO-K/DN200CF,出氣法蘭口DN40 ISO-KF,抽速可達(dá)到1400 L/s,極限壓力4.5X.10-6 mTorr/6X10-9 mbar,轉(zhuǎn)速為15000-39000rpm,阿迪克森ATH1600MT磁懸
真空泵維修中,一般會(huì)接到以下幾個(gè)故障案例:①會(huì)出現(xiàn)真空泵無(wú)法啟動(dòng);②真空泵達(dá)不到極限真空;③真空泵的抽速太慢;④真空泵工作中的溫度過高;⑤真空泵的噪音過大;⑥真空泵漏油。本文主要來(lái)詳細(xì)分析下真空泵無(wú)法啟動(dòng)這一個(gè)問題,用過真空泵的用戶應(yīng)該都會(huì)知道,使用真空泵的過程中,如果長(zhǎng)期未使用或者出現(xiàn)故障時(shí)都會(huì)導(dǎo)致真空泵無(wú)法正常啟動(dòng),例如,啟動(dòng)一下就會(huì)突然停下了,甚至都啟動(dòng)不了。Alcatel ATH1600M分子泵維修
真空泵機(jī)械選擇:
真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí),應(yīng)該選各種無(wú)油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。Alcatel ATH1600M分子泵維修
真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無(wú)油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。
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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 真空泵養(yǎng)護(hù)維修
單級(jí)旋片式真空泵的真空度只能到達(dá)1*10-2托,不能到達(dá)再高的原因是:
1、泵的布局上存在“有害空間”,空間中的氣體是無(wú)法排除的。當(dāng)旋片轉(zhuǎn)過排氣口后,這一有些氣體又被緊縮,經(jīng)過轉(zhuǎn)子與泵腔間的縫隙又回到吸氣空間,所以,“有害空間”越小,泵極限真空度越高。
2、泵腔被旋片分隔變成兩有些:排氣空間與吸氣空問,兩者間存在著必定的壓強(qiáng)差。當(dāng)排氣空間的氣體被緊縮得很小時(shí),壓弧很高,會(huì)經(jīng)過各種可能的路徑打破到吸氣空間去,使真空度下降。真空泵養(yǎng)護(hù)維修
3、泵油在泵體內(nèi)循環(huán)活動(dòng)進(jìn)程中會(huì)溶解進(jìn)很多氣體和蒸氣。在吸氣空間,因?yàn)閴簭?qiáng)較低,溶解的氣體又會(huì)跑出來(lái),使泵的真空度不易進(jìn)步。
為了提高泵的極限真空度,除了提高泵體、轉(zhuǎn)子、旋片的加工精度,盡量削減安裝空隙和有害空間以外,真空可以認(rèn)為zui有用的辦法是將兩只單級(jí)泵串接起來(lái),組合成雙級(jí)泵。這樣,極限真空度將提高,可達(dá)10-4托(進(jìn)口真空泵可到達(dá)10-5托)。真空泵養(yǎng)護(hù)維修
渦輪分子泵主要由一個(gè)外殼與轉(zhuǎn)子和定子組成。旋轉(zhuǎn)圓盤和固定圓盤交叉排列,一個(gè)轉(zhuǎn)子盤和一個(gè)定子盤組成一個(gè)泵級(jí)。轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)得越快,抽吸效果就越顯著?,F(xiàn)代泵的轉(zhuǎn)速已高達(dá)90 000 min-1,圓周速度為 400 m/s。而在1958年Willi Becker的自制樣機(jī)轉(zhuǎn)速就能達(dá)到142 m/s。真空泵養(yǎng)護(hù)維修
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磁懸浮分子泵是利用無(wú)摩擦磁懸浮原理實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期安全、ke靠、節(jié)能的實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)的穩(wěn)定流量控制的一種新的分子泵技術(shù)。它是一種分子泵,可以輸送液體和氣體;它將電機(jī)、變頻器和線性滑動(dòng)馬達(dá)等相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)壓力、流量調(diào)節(jié),建立完整的閉環(huán)控制系統(tǒng),從而有效控制和穩(wěn)定流量。渦輪分子泵養(yǎng)護(hù)中心
其特點(diǎn)如下:
(1)不用任何潤(rùn)滑油,可實(shí)現(xiàn)完全無(wú)油化。
(2)由于轉(zhuǎn)子與定子之間沒有機(jī)械接觸,軸承的壽命非常長(zhǎng)。
(3)與傳統(tǒng)軸承相比,轉(zhuǎn)子可運(yùn)行到很高的轉(zhuǎn)速。
(4) 振動(dòng)與噪聲很低。
(5) 泵的安裝姿態(tài)不受限制,可任意角度安裝。
(6)轉(zhuǎn)子采用高強(qiáng)度鋁合金,一次高速銑削成形
(7)自平衡技術(shù)振動(dòng)ji小
相比普通分子泵,它的軸承不需要潤(rùn)滑,所以可以排除油污染
由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)qing有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)ya有一定的抽速,兩者組合起來(lái),便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。渦輪分子泵養(yǎng)護(hù)中心
真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí),應(yīng)該選各種無(wú)油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。
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