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羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵,分子增壓泵有極高的壓縮比,這除了使它能獲得清潔真空外還具有優(yōu)異的高真空性能,同時(shí)在中真空范圍也有超*的抽氣能力。這就使分子增壓泵成為目前唯yi兼有中高真空性能的真空泵,所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級(jí)機(jī)組的高真空機(jī)組。阿爾卡特真空泵維護(hù)
分子增壓泵可以在100-50Pa工作,前級(jí)泵從大氣到這一壓力,基本遵從每經(jīng)過(guò)時(shí)間壓力降低一個(gè)數(shù)量級(jí)的規(guī)律,因此機(jī)組可以具有很高的抽氣效率。簡(jiǎn)化高真空機(jī)組,取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個(gè)優(yōu)勢(shì)。阿爾卡特真空泵維護(hù)
對(duì)于較大型的高真空應(yīng)用設(shè)備,也可適當(dāng)加強(qiáng)前級(jí)泵的預(yù)抽能力,進(jìn)一步縮短抽氣時(shí)間,由于預(yù)抽時(shí)間與整個(gè)排氣過(guò)程相比很短,所以前級(jí)泵的使用時(shí)間也很短,因此可以兼作多套設(shè)備的預(yù)抽作用,而這往往是非常現(xiàn)實(shí)的。這就使規(guī)模化應(yīng)用的真空機(jī)組得到大大的簡(jiǎn)化。阿爾卡特真空泵維護(hù)
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旋片泵的旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分,當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí),與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的,正處于吸氣過(guò)程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的,正處于排氣過(guò)程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的,正處于壓縮過(guò)程。由于空間A的容積是逐漸增大(即膨脹),氣體壓強(qiáng)降低,泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng),因此將氣體吸入。
當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時(shí),即轉(zhuǎn)至空間B的位置,氣體開始被壓縮,容積逐漸縮小,*后與排氣口相通。當(dāng)被壓縮氣體超過(guò)排氣壓強(qiáng)時(shí),排氣閥被壓縮氣體推開,氣體穿過(guò)油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過(guò)氣道而轉(zhuǎn)入另一級(jí)(低真空級(jí)),由低真空級(jí)抽走,再經(jīng)低真空級(jí)壓縮后排至大氣中,即組成了雙級(jí)泵。這時(shí)總的壓縮比由兩級(jí)來(lái)負(fù)擔(dān),因而提高了極限真空度。真空泵維修維護(hù)
真空機(jī)組工作原理:
真空機(jī)組是以泵為主泵,以旋片泵為前級(jí)泵串聯(lián)而成的。旋片真空機(jī)組選用的旋片泵作為前級(jí)泵,因此它克服了旋片泵使用時(shí)在一定壓力下抽氣速率低的缺點(diǎn),而且同時(shí)保留了羅茨泵能迅速工作,有比較大抽氣速率等優(yōu)點(diǎn)。真空泵維修維護(hù)
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滑閥真空泵工作原理:
另一種典形的旋轉(zhuǎn)真空泵為滑閥真空泵,泵殼內(nèi)裝一偏心的轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子上有若干槽,槽內(nèi)有可以滑動(dòng)的滑片。轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)地槽內(nèi)的滑片向四周伸出,不與泵殼接觸。氣體于滑片與泵殼所包圍的空間擴(kuò)大的一側(cè)吸入,于二者所包圍的空間縮小的它側(cè)排出?;婵毡盟a(chǎn)生的低壓可達(dá)0.06Pa。相比旋片真空泵運(yùn)行更加穩(wěn)定,耐用性更強(qiáng)。阿爾卡特進(jìn)口泵維修
分子篩的吸附特性分子篩對(duì)于 H,ONHHSCO等性分子具有很高的親和力,特別是對(duì)于水,即使在低分壓力或低濃度、高溫等十分苛刻的條件下,仍有很高的吸附容量。另外,與其它吸附劑相比,分子篩還有良好的熱穩(wěn)定性,吸附量飽和后可經(jīng)加熱處理使之恢復(fù)吸附能力。阿爾卡特進(jìn)口泵維修
試驗(yàn)表明,分子篩在10Pa下的空氣中,在700C 下加熱 6h,其晶體結(jié)構(gòu)可以無(wú)變化。但是,在 800C下加熱不到 2h,分子篩便重新結(jié)晶而形成一種象白硅石般的結(jié)構(gòu)。因此,必須強(qiáng)調(diào)指出,在應(yīng)用分子篩時(shí),其溫度不能超過(guò) 600C。阿爾卡特進(jìn)口泵維修
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