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潽拓光電-pfeiffer分子泵維修費(fèi)用

廣州潽拓光電科技有限公司

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廣州潽拓——專業(yè)維修PFEIFFER DUO 3

雙級(jí)旋片泵 DUO 2.5/DUO 3 工作原理

旋片式真空泵是油密封的旋轉(zhuǎn)式排量泵。泵系統(tǒng)包括一個(gè)殼體 (1)、一個(gè)偏心地

安裝的轉(zhuǎn)子 (2)、在離心力和彈力作用下徑向移動(dòng)的葉片 (3) 以及入口和出口

(4)。入口閥（如配置）被設(shè)計(jì)為真空安全閥，該閥在操作過程中始終處于打開狀態(tài)。

工作室 (5) 位于殼體內(nèi)，并受到定子、轉(zhuǎn)子和葉片的限制。偏心安裝的轉(zhuǎn)子和葉

片將工作室分為具有可變?nèi)莘e的兩個(gè)獨(dú)立艙。當(dāng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體流入擴(kuò)大的吸入

室直至其被第二個(gè)葉片封住。封閉氣體然后進(jìn)行壓縮，直到出口閥沖破大氣壓力

而開啟。出口閥是油封的。當(dāng)閥打開時(shí)，少量的油進(jìn)入吸入室，不僅能夠?qū)ζ溥M(jìn)行

潤(rùn) 滑，而且能夠?qū)⑷~片與殼體（定子）密封開來。

旋片式真空泵的工作原理

在氣鎮(zhèn)操作的情況下，一個(gè)孔向外側(cè)打開，讓氣體流入前側(cè) 的密封吸入室。因此，

在壓縮抽吸階段，在相對(duì)低的壓縮下達(dá)到打開出口閥所需的壓力。這使得蒸汽開始

冷凝前排出置換的氣體/蒸汽混合物。在操作過程使用氣鎮(zhèn)達(dá)到的終壓力高于無

氣鎮(zhèn)操作所達(dá)到的壓力。

工作液、油

泵油，也稱為工作液，在旋片式真空泵中泵油有多個(gè)任務(wù)要執(zhí)行。它潤(rùn)滑所有移動(dòng)

部件，填充出口閥下的固定空間以及縮小入口和出口之間的間隙。它壓縮葉片和工

作室之間的間隙，此外還通過熱傳遞確保溫度平衡。

多級(jí)泵

旋片式真空泵是內(nèi)置的單級(jí)和兩極版。二極泵比單級(jí)泵實(shí)現(xiàn) 相對(duì)更低的極限壓力。

此外，氣鎮(zhèn)對(duì)極限壓力的影響較低，因?yàn)闅怄?zhèn)僅允許在高壓力級(jí)使用。

真空安全閥

根據(jù)所涉及的泵類型，旋片式真空泵可能配備真空安全閥。真空安全閥在有意或意

外停頓的情況下將泵與真空室隔離，并使用置換氣體對(duì)泵系統(tǒng)進(jìn)行排氣，防止油液

上升到真空室中。在開啟泵后，一旦泵中的壓力已達(dá)到真空室中的近似壓力，它

稍作延遲就打開。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

廣州潽拓光電科技有限公司從事高真空設(shè)備研制、生產(chǎn)、銷售、工程安裝及售后維修服務(wù)于一體的綜合性企業(yè)，由從事多年真空系統(tǒng)開發(fā)，真空設(shè)備技術(shù)研發(fā)，維修工程師，工程師組成的一支技術(shù)實(shí)力雄厚，充滿活力的高素質(zhì)團(tuán)隊(duì)。

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