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真空泵抽不到極限真空度的原因

   當(dāng)該故障發(fā)生時(shí)，應(yīng)當(dāng)首先檢查真空系統(tǒng)的氣密性，看是否有輕微漏氣。其次，應(yīng)當(dāng)打開氣鎮(zhèn)，讓泵運(yùn)行30分鐘左右，來(lái)抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸汽，排除可壓縮蒸汽對(duì)極限真空度的影響。

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直聯(lián)旋片真空泵的噪音

　　(1)真空泵旋片彈簧折斷，可調(diào)換彈簧。

　　(2)真空泵的有毛刺、臟物或變形，運(yùn)轉(zhuǎn)發(fā)生障礙，應(yīng)檢查修磨清洗。

　　(3)真空泵的軸承磨損，零件磨損。應(yīng)修整或更換。

　　(4)真空泵的電機(jī)出毛病，應(yīng)進(jìn)行檢查。

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真空通常由抽氣機(jī)獲得，其氣體稀薄度用真空計(jì)測(cè)量。利用分子和擴(kuò)散式氣體抽提器可以獲得大氣壓為1×10-14pa的高真空度。真空技術(shù)廣泛應(yīng)用于芯片制造、太陽(yáng)能電池制造、光學(xué)薄膜制造、電真空儀器、電子管等電子儀器中。

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干式螺旋真空泵是一種較新的阿特拉斯真空泵系列下的設(shè)備，具有可靠性高、壽命長(zhǎng)、動(dòng)平衡性能好、適應(yīng)性強(qiáng)、多相混輸?shù)忍攸c(diǎn)。它能去除腐蝕性、有毒、含塵氣體和可冷凝蒸汽等氣體。干泵有著廣泛的應(yīng)用，包括半導(dǎo)體工業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜工業(yè)等，這三個(gè)行業(yè)的需求是推動(dòng)干式泵市場(chǎng)的主要?jiǎng)恿?。在歐美半導(dǎo)體行業(yè)，約有一半的企業(yè)采用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵。我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)主要采用進(jìn)口干式泵。因此，應(yīng)加強(qiáng)國(guó)產(chǎn)干式真空泵的研發(fā)，使之成為我國(guó)真空行業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。

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真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達(dá)到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個(gè)很大的范圍，至今為止還沒(méi)有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個(gè)范圍。因此，為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。高真空分子泵維修多少錢

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水環(huán)泵也有其缺點(diǎn)：

效率低，一般在30%左右，較好的可達(dá)50%。

真空度低，這不僅是因?yàn)槭艿浇Y(jié)構(gòu)上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液，極限壓強(qiáng)只能達(dá)到2000~4000Pa。用油作工作液，可達(dá)130Pa。

總之，由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可以抽除yi燃、yi爆的氣體。由于沒(méi)有排氣閥及摩擦表面，故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。有了這些突出的特點(diǎn)，盡管它效率低，仍然得到了廣泛的應(yīng)用。

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