廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 分子泵養(yǎng)護(hù)
半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)制造工藝極其復(fù)雜，需要在高純度硅片上執(zhí)行一系列精密的物理或者化學(xué)操作，例如摻入相應(yīng)的其它元素、形成多種金屬薄膜和絕緣膜、進(jìn)行表面的刻蝕處理等。這些復(fù)雜的生產(chǎn)制造工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進(jìn)行，而且對(duì)真空系統(tǒng)和真空設(shè)備的潔凈度也有著很高的要求。分子泵養(yǎng)護(hù)
羅茨真空泵在石油、化工、塑料、nong藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長(zhǎng)期運(yùn)行的考驗(yàn)，所以應(yīng)該在國(guó)內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。同時(shí)也廣泛用于石油、化工、冶金、紡織等工業(yè)。真空泵配件作為真空泵消*器，用于真空泵的噪聲治理。分子泵養(yǎng)護(hù)
轉(zhuǎn)子的內(nèi)部冷卻:為了使羅茨真空泵在更高壓差下工作，可采取更有效的冷卻方法，即將轉(zhuǎn)子用循環(huán)油冷卻，在泵軸兩端分別有油孔、油徑軸頭打入，經(jīng)轉(zhuǎn)子內(nèi)壁再?gòu)牧硪欢伺懦?。冷卻油除冷卻轉(zhuǎn)子外，還潤(rùn)滑齒輪和軸承。這種冷卻效果較好，泵在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)轉(zhuǎn)子溫度低于外殼溫度，大泵常采用這種方式。 分子泵維修，例如在80Torr壓差下工作時(shí)，羅茨真空泵轉(zhuǎn)子溫度較外殼低78度，同時(shí)還發(fā)現(xiàn)泵負(fù)荷越重時(shí)，則間隙越大，這是因?yàn)檗D(zhuǎn)子用油冷卻，溫度比殼體低，負(fù)荷越大，殼體膨脹越厲害，軸間距加大，所以間隙會(huì)增大。
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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 分子泵升級(jí)改造
旋片泵為雙級(jí)結(jié)構(gòu)，是由高壓級(jí)與低壓級(jí)二部分組成，它的吸入口與真空容器或真空設(shè)備連接，在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)容器內(nèi)的氣體將大量吸入與排出。當(dāng)設(shè)備獲得真空時(shí)，高壓級(jí)排氣閥片將封閉，高壓級(jí)吸入的氣體將轉(zhuǎn)送到第二級(jí)，并經(jīng)第二級(jí)吸入與排出，這樣真空設(shè)備可獲得一定的真空。根據(jù)用戶使用情況，可配備真空增壓泵，將該泵做為前級(jí)泵，由于增壓泵的抽氣力加強(qiáng)，前級(jí)泵連續(xù)抽除，能使設(shè)備獲得更高的真空。分子泵升級(jí)改造
真空泵抽不出液體
1.沒(méi)有灌注液體。解決方案：重新灌真空泵。
2.吸入管、出管或真空泵的流道堵塞。解決方案：消除雜物
3.吸入管或真空泵內(nèi)沒(méi)有排凈氣體。解決方案：檢修吸入管路并排凈氣體
4.吸上高度超過(guò)允許范圍。解決方案：按允許吸上高度重新按裝真空泵
5.壓出管路太細(xì)，管路損失太大。解決方案：換適合的壓出管路
6.使用揚(yáng)程超過(guò)了設(shè)計(jì)揚(yáng)程。解決方案：重新選真空泵
7.輸送熱的、揮發(fā)性的介質(zhì)。解決方案：降低吸程或采用倒灌按裝。
8.轉(zhuǎn)向反了。解決方案：糾正轉(zhuǎn)向
壓縮比 渦輪分子泵的壓縮比是指前級(jí)管道（排氣口處）的壓力與進(jìn)氣口處的壓力之比。由于被抽氣體的分子量不同，泵對(duì)各種氣體的壓縮比也不同。 泵對(duì)氫的壓縮比很小，一般為1000左右，這樣一來(lái)如果前級(jí)管道中氫的壓力為110-7Torr（13.33Pa），那么進(jìn)氣口處氫的壓力則小1000倍，即為110-10Torr（13.33nPa）。由于氫是超高真空系統(tǒng)中主要的殘余氣體，所以氫的壓縮比是決定渦輪分子泵的極限壓力的關(guān)鍵因素。分子泵升級(jí)改造
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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 磁懸浮渦輪分子泵維修
含加熱模塊的磁懸浮分子泵主要用于半導(dǎo)體制造設(shè)備，在集成電路刻蝕等工藝過(guò)程中，部分工藝氣體容易冷卻凝結(jié)，附著在分子泵轉(zhuǎn)子及內(nèi)壁，造成分子泵轉(zhuǎn)子不平衡量增大或抽氣通道阻塞，影響分子泵的穩(wěn)定運(yùn)行。加上加熱模塊可以適當(dāng)提高泵體溫度，降低工藝氣體凝結(jié)，提高分子泵穩(wěn)定性及壽命。 磁懸浮渦輪分子泵維修
我們所稱呼的“質(zhì)譜儀單元”是氦氣檢漏儀的核xin部分。氣體從檢漏 儀的入口被導(dǎo)入質(zhì)譜儀單元。在這里用高能量的電子束對(duì)帶電的氣 體粒子進(jìn)行撞擊 電子束利用金屬絲在高溫下產(chǎn) 生。如果中性氣體粒子層的電子被撞擊，它會(huì)從電子層脫出。結(jié) 果，帶正電的氣體粒子—離子—留了下來(lái)。大部分導(dǎo)入的氣體粒子被電子之間的碰撞電離。 磁懸浮渦輪分子泵維修
分子泵的工作區(qū)間是有限制的，*大啟動(dòng)壓強(qiáng)也要在100pa，直接大氣啟動(dòng)只會(huì)長(zhǎng)期處于過(guò)載狀態(tài)運(yùn)行，并無(wú)抽氣效果。 磁懸浮渦輪分子泵維修
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