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濺射離子泵無油超高真空系統(tǒng)。此系統(tǒng)是獲得清潔超高真空的主要手段，可以獲得10-9Pa的真空度，一般由濺射離子泵、鈦升華泵與分子篩吸附泵或者是與渦旋泵、液氮阱等共同組成，可以獲得清潔的無油超高真空系統(tǒng)。由于濺射離子泵的啟動(dòng)壓力在1Pa以下，而且對有機(jī)蒸汽敏感，因此在使用時(shí)需要對其進(jìn)行*底的烘烤除氣，并用預(yù)抽泵抽走烘烤釋放出的氣體。
在安裝泵之前，應(yīng)在進(jìn)氣口和出氣口打開的情況下檢查電機(jī)旋轉(zhuǎn)方向。從電機(jī)端看，驅(qū)動(dòng)軸應(yīng)逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)。注意電機(jī)或外殼上指示旋轉(zhuǎn)方向的箭頭。如果電機(jī)轉(zhuǎn)向錯(cuò)誤，可以通過在電機(jī)連接端子塊上互換兩相來糾正。
電機(jī)功率、轉(zhuǎn)速是和真空泵相匹配的，不能更改。風(fēng)扇安裝于電機(jī)主軸上，電機(jī)轉(zhuǎn)速?zèng)Q定了風(fēng)扇轉(zhuǎn)速，也不可更換。增加風(fēng)扇葉片數(shù)量雖能起到一定作用，但葉片數(shù)量增加后，動(dòng)平衡不容易找，如找正不好，會(huì)引起電機(jī)振動(dòng)增加
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真空是指在給定的空間內(nèi)低于一個(gè)大氣壓的氣體狀態(tài)或稀薄的氣體狀態(tài)，可分為低真空、中真空、高真空、極高真空。真空泵是使用*廣泛的真空獲得設(shè)備。真空泵維修服務(wù)公司
因此為保證羅茨真空泵能達(dá)到較高真空度，需保證羅茨真空泵轉(zhuǎn)子及與泵腔之間的間隙。所以大部分中高真空羅茨真空泵使用時(shí)必須配備前級泵，利用前級泵將系統(tǒng)內(nèi)壓力抽至一定范圍，再啟動(dòng)羅茨真空泵，保證合理范圍內(nèi)的出入口壓差，這樣就可以避免羅茨真空泵因高壓差而導(dǎo)致過載。真空泵維修服務(wù)公司
真空泵抽不出液體
1、沒有灌注液體？
答：重新灌真空泵
2、吸入管、出管或真空泵的流道堵塞？
答：消除雜物
3、吸入管或真空泵內(nèi)沒有排凈氣體？
答：檢修吸入管路并排凈氣體
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羅茨真空泵（增壓型）必須和前級真空泵（單級旋片真空泵，油封液環(huán)真空系統(tǒng)，等干式粗低真空泵串聯(lián)使用如：雙級或多級爪型泵，或直排大氣的預(yù)冷型羅茨泵等）真空渦輪分子泵維修
羅茨真空系統(tǒng)將獲得比前級泵更髙的抽速和更低的極限壓力。
正確的前級泵的選擇取決于不同的應(yīng)用，主要的因素有以下幾個(gè)：
1. 所需的抽速和和極限壓力，真空渦輪分子泵維修
2. 被抽氣體的性質(zhì)（是否可凝性，*燃*爆，腐蝕性等）
3. 真空系統(tǒng)的清潔度
隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點(diǎn)幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。隨著真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過程的要求，由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機(jī)組型式應(yīng)用。真空渦輪分子泵維修
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