廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特進(jìn)口分子泵 Alcatel ATH1600M分子泵維修
Alcatel ATH1600M法國(guó)阿爾卡特磁懸浮分子泵維修,Alcatel ATH1600MT阿爾卡特分子泵進(jìn)氣法蘭口DN200ISO-K/DN200CF，出氣法蘭口DN40 ISO-KF，抽速可達(dá)到1400 L/s，極限壓力4.5X.10-6 mTorr/6X10-9 mbar,轉(zhuǎn)速為15000-39000rpm，阿迪克森ATH1600MT磁懸
真空泵維修中，一般會(huì)接到以下幾個(gè)故障案例：①會(huì)出現(xiàn)真空泵無(wú)法啟動(dòng)；②真空泵達(dá)不到極限真空；③真空泵的抽速太慢；④真空泵工作中的溫度過高；⑤真空泵的噪音過大；⑥真空泵漏油。本文主要來(lái)詳細(xì)分析下真空泵無(wú)法啟動(dòng)這一個(gè)問題，用過真空泵的用戶應(yīng)該都會(huì)知道，使用真空泵的過程中，如果長(zhǎng)期未使用或者出現(xiàn)故障時(shí)都會(huì)導(dǎo)致真空泵無(wú)法正常啟動(dòng)，例如，啟動(dòng)一下就會(huì)突然停下了，甚至都啟動(dòng)不了。Alcatel ATH1600M分子泵維修
真空泵機(jī)械選擇：
真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí)，應(yīng)該選各種無(wú)油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。Alcatel ATH1600M分子泵維修
真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無(wú)油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。
廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特進(jìn)口分子泵 Alcatel ATH1600M分子泵維修
廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特進(jìn)口分子泵 分子泵養(yǎng)護(hù)
半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)制造工藝極其復(fù)雜，需要在高純度硅片上執(zhí)行一系列精密的物理或者化學(xué)操作，例如摻入相應(yīng)的其它元素、形成多種金屬薄膜和絕緣膜、進(jìn)行表面的刻蝕處理等。這些復(fù)雜的生產(chǎn)制造工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進(jìn)行，而且對(duì)真空系統(tǒng)和真空設(shè)備的潔凈度也有著很高的要求。分子泵養(yǎng)護(hù)
羅茨真空泵在石油、化工、塑料、nong藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長(zhǎng)期運(yùn)行的考驗(yàn)，所以應(yīng)該在國(guó)內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。同時(shí)也廣泛用于石油、化工、冶金、紡織等工業(yè)。真空泵配件作為真空泵消*器，用于真空泵的噪聲治理。分子泵養(yǎng)護(hù)
轉(zhuǎn)子的內(nèi)部冷卻:為了使羅茨真空泵在更高壓差下工作，可采取更有效的冷卻方法，即將轉(zhuǎn)子用循環(huán)油冷卻，在泵軸兩端分別有油孔、油徑軸頭打入，經(jīng)轉(zhuǎn)子內(nèi)壁再?gòu)牧硪欢伺懦?。冷卻油除冷卻轉(zhuǎn)子外，還潤(rùn)滑齒輪和軸承。這種冷卻效果較好，泵在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)轉(zhuǎn)子溫度低于外殼溫度，大泵常采用這種方式。 分子泵維修，例如在80Torr壓差下工作時(shí)，羅茨真空泵轉(zhuǎn)子溫度較外殼低78度，同時(shí)還發(fā)現(xiàn)泵負(fù)荷越重時(shí)，則間隙越大，這是因?yàn)檗D(zhuǎn)子用油冷卻，溫度比殼體低，負(fù)荷越大，殼體膨脹越厲害，軸間距加大，所以間隙會(huì)增大。
廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特進(jìn)口分子泵 分子泵養(yǎng)護(hù)
廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特進(jìn)口分子泵 高真空分子泵維修中心
了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無(wú)顆?；覊m，有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。 高真空分子泵維修中心
沖擊性檢測(cè)對(duì)一批泵在運(yùn)作和非運(yùn)作標(biāo)準(zhǔn)下開展一系列檢測(cè)，證實(shí)泵的耐沖擊性。每一個(gè)泵遭受30–120g的瞬時(shí)速度，等同于從82公分/32英寸高墜落（處在非運(yùn)作情況的泵）和從15厘米/6英寸高墜落（處在運(yùn)作情況的泵）。在泵處在豎直、水準(zhǔn)和倒立起來(lái)情況時(shí)，各開展6次沖擊性檢測(cè)所檢測(cè)的泵在24次墜落后無(wú)一切難題（不產(chǎn)生轉(zhuǎn)子機(jī)械設(shè)備觸碰，泵運(yùn)作情況不會(huì)改變）。在每一次墜落后認(rèn)證泵的不平衡，結(jié)果顯示轉(zhuǎn)變很小，遠(yuǎn)小于閥值。高真空分子泵維修中心
渦輪分子泵也是一種機(jī)械式真空泵，通過高速旋轉(zhuǎn)的多級(jí)渦輪轉(zhuǎn)子葉片和靜止葉片的組合進(jìn)行抽氣的，在分子流區(qū)域內(nèi)對(duì)被抽氣體產(chǎn)生很高的壓縮比，從而獲得所需要的真空性能。渦輪分子泵極限真空比擴(kuò)散泵高，可達(dá)10^-8pa。正常工作時(shí)需要一定的前級(jí)真空度，其真空度高低視泵不同略有差異
廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特進(jìn)口分子泵 高真空分子泵維修中心
在線客服
13728080527
