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結(jié)果表明，隨著螺旋升角和牽引槽深度增大，氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度均先提高后下降;增大轉(zhuǎn)子與定子間隙，不利于氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的提高;選取螺旋升角為22°、牽引槽深為 2.5 mm、轉(zhuǎn)子與定子間隙為 0.3 mm時(shí)，氦質(zhì)譜檢漏儀具有較高的靈敏度，同時(shí)復(fù)合分子泵牽引級(jí)性能*靠且結(jié)構(gòu)安全。
除此之外，HLD 6000新型冷媒檢漏儀還具有輕松融入本地網(wǎng)絡(luò)及低維護(hù)成本的優(yōu)勢。該產(chǎn)品設(shè)有用于測量數(shù)據(jù)跟蹤、存儲(chǔ)設(shè)置和快速軟件更新的USB端口，使用者可以隨時(shí)進(jìn)行收集、存儲(chǔ)和更新數(shù)據(jù)等功能。通過選件I/O模塊或現(xiàn)場總線模塊，可方便的接入本地網(wǎng)絡(luò)，輕松集成到泄漏檢測系統(tǒng)中。在開發(fā)HLD 6000時(shí)，低維護(hù)成本就是考慮的重點(diǎn)，在主裝置底部配備參考漏孔“修理廠”，即新設(shè)計(jì)的COOL-Check托架讓快速更換參考漏孔成為可能，而采用無磨損的傳感器則*大化保障用戶的正常運(yùn)行時(shí)間。冷媒檢漏儀維修
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壓電閥是利用壓電效應(yīng)制成的一種真空氣體流量調(diào)節(jié)閥。壓電閥的部件是由壓電陶瓷制成的具有壓電特性的膜片。當(dāng)在壓電陶瓷膜片上施加一控制電壓時(shí)，它將會(huì)產(chǎn)生正比于外加電壓值大小的變形。同時(shí)，帶動(dòng)密封墊移動(dòng)。于是壓電閥流導(dǎo)產(chǎn)生變化，從而改變氣體通過壓電閥的流量。英?？嫡婵沼?jì)維修保養(yǎng)
當(dāng)壓電陶瓷膜片上未施加控制電壓時(shí)，由于彈簧的機(jī)械力作用在壓電陶瓷膜片和密封墊上，使壓電閥氣路關(guān)閉。因而，可以通過改變施加在壓電陶瓷膜片上的控制電壓的大小，來改變壓電閥的流導(dǎo)，從而改變流過壓電閥的氣體流量。于是，可實(shí)現(xiàn)真空裝置的真空室中的真空度調(diào)節(jié)。英?？嫡婵沼?jì)維修保養(yǎng)
電容薄膜真空計(jì)
屬彈性元件真空計(jì)，彈性薄膜將規(guī)管真空室分為兩個(gè)小室，即參考?jí)簭?qiáng)室和測量室。測量低壓強(qiáng) (P<100帕)時(shí)，參考室抽至高真空,其壓強(qiáng)近似為零。當(dāng)測量室壓強(qiáng)不同時(shí)，薄膜變形的程度也不同。在測量室中有一固定電極，它與薄膜形成一個(gè)電容器。薄膜變形時(shí)電容值相應(yīng)改變，通過電容電橋可測量電容的變化從而確定相應(yīng)壓強(qiáng)值。為了防止薄膜發(fā)生蠕變，通常采用零位法測量，即在固定電極和薄膜之間加一直流電壓，利用靜電力補(bǔ)償薄膜受壓強(qiáng)差而產(chǎn)生的應(yīng)力，使膜片保持零位。
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電源接通后加熱電流和測量均無指示。故障產(chǎn)生原因可能包括：指示表電動(dòng)圈部分?jǐn)嗦?；熱偶?guī)管燈絲斷路或規(guī)管連接電纜部分?jǐn)嗦?；無加熱電流；加熱電流調(diào)節(jié)電位器斷路；與指示表串聯(lián)的電阻斷路。對應(yīng)的維修方法：更換指示表；更換熱偶規(guī)管及檢修規(guī)管連接電纜；檢查穩(wěn)流電源有無電壓輸出；檢修調(diào)節(jié)電位器及其線路；更換電阻。英?？嫡婵沼?jì)維修公司
真空壓力表必須垂直安裝,力求與測保持同一水平,如相差過高計(jì)入液柱所引起的附加誤差,測量氣體時(shí)可不必考慮.安裝時(shí)將表殼后部防爆口阻塞,以免影響防爆性能.正常使用的測量范圍:在靜壓下不超過測量上限的3/4,在波動(dòng)下不應(yīng)超過測量上限的2/3.使用時(shí)如遇到儀表指針失靈或內(nèi)部機(jī)件松動(dòng)﹨不能正常工作等故障時(shí)應(yīng)進(jìn)行檢修.真空壓力表應(yīng)避免震動(dòng)和碰撞,以免損壞。英福康真空計(jì)維修公司
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