廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 高真空分子泵維修廠家
不同的真空系統(tǒng)要求的真空度不同。因此往往必須由一套真空機組來完成,即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來。高真空一側(cè)的真空泵能達到系統(tǒng)要求的真空度,而低真空一側(cè)的真空泵是直排大氣的。顯然*簡單的真空機組就是一臺直排大氣的真空泵。但高真空系統(tǒng)一般需要三級機組,中真空一般需要二級機組。高真空分子泵維修廠家
真空是指氣體壓力小于大氣壓力的狀態(tài)。真空度用帕斯卡(Pa)或托(Torr)來表示。在某些應(yīng)用中,需要制造非常低的真空。例如,在電子學(xué)中,需要多個級別的真空來生產(chǎn)半導(dǎo)體器件。真空主要通過真空泵來制造和維持。高真空分子泵維修廠家
一般真空泵設(shè)備的操作都比較簡單,大多正常生產(chǎn)過程中都不需要過多的人為操作,操作人員如果發(fā)現(xiàn)真空泵有異常狀況,為防止發(fā)生事故,應(yīng)立即切斷電源,及時報修。使用過程中,應(yīng)避免日光直射,遠離熱源體。日常工作中應(yīng)做到每日點檢保養(yǎng)設(shè)備,保持無灰塵、無雜物,防止雜物進入泵內(nèi)。高真空分子泵維修廠家
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噴射泵由工作噴嘴和擴壓器及混合室相連而組成。工作噴嘴和擴壓器這兩個部件組成了一條斷面變化的特殊氣流管道。工作蒸氣在高壓下以很高的速度從噴嘴噴出,在噴射過程中,氣流通過噴嘴可將靜壓能轉(zhuǎn)變?yōu)閯幽?。工作蒸汽壓強和泵的出口壓強之間的壓力差,使工作蒸汽在管道中流動。阿爾卡特渦輪分子泵維修
渦輪分子系內(nèi)的軸承,是安放在采的低真空部位的,并有密封圈擋住,不至使軸承中的潤滑油或脂的蒸氣直接進人泵的進氣口部分。在泵工作時,由于對油蒸氣有極高的壓縮比,油蒸氣是很難進入高真空區(qū)的。但一旦泵停止運轉(zhuǎn)后,若泵內(nèi)仍保持真空的話,則這些油燕氣就容易擴散進入高真空區(qū),油蒸氣便沾污了泵的高真空葉輪。阿爾卡特渦輪分子泵維修
為此,在停泵后,必須立即對泵灌以干燥的空氣或氮氣,限止油蒸氣的擴散,渦輪分子泵內(nèi)各葉輪之間、動輪與泵壁之間的空都只在 1mm 左右,因此工作時應(yīng)嚴格防止異物進入泵內(nèi)。一般允許的雜散磁場約為 0.004~0.011T。阿爾卡特渦輪分子泵維修
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在低溫下,軸承潤滑劑具有很高的粘度(低潤滑作用),可能導(dǎo)致軸承潤滑不良和分子泵啟動電流過大。即使泵看起來啟動正常,也可能會對軸承造成一定的損傷,長期來看,這將影響泵的可靠性。安捷倫分子泵允許的正常工作溫度范圍是 5-35 攝氏度,在環(huán)境溫度低于 5 攝氏度時,需要采取一定的加溫措施。
避免真空泵溫度過高:較為非常容易了解這一點,半導(dǎo)體材料在真空泵的運用中,有害物質(zhì)比較多,而不論是干試真空泵還是骨架密封機械泵,泵腔內(nèi)溫度過高,高溫下物品及有害氣體便會非常容易產(chǎn)生風(fēng)險。 進口泵維修
應(yīng)小心防止固體物質(zhì)(金屬碎片、玻璃碎片等)。)不會掉入真空泵并擦傷真空泵的運動部件。當(dāng)真空泵長時間停機時,應(yīng)將其存放在干燥清潔的環(huán)境中,并堵住吸入口和排出口,以防灰塵落入。
真空泵選型前,先來弄清楚幾個基礎(chǔ)概念: 真空 現(xiàn)實中是不存在真正的真空的,通常我們把容器內(nèi)氣壓低于正常大氣壓(101325 Pa)的狀態(tài)都稱之為真空狀態(tài)。進口泵維修
容積式真空泵
容積式真空泵適用于低真空的泵速較慢的場合,主要用來創(chuàng)建中等至低真空環(huán)境。容積式真空泵使用氣體壓縮作為原理,通過泵出氣體并將其壓縮進入泵房,從而實現(xiàn)真空抽取。
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