廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫真空分子泵
安捷倫SH-110是業(yè)內(nèi)的干式密封渦旋泵,可以方便地組裝到原始設(shè)備制造商(OEM)系統(tǒng)中。這種單級(jí)泵體積小巧, 抽速110升/分(頻率60Hz) ,極限壓力50 mtorr (0.07 mbar) ,許多終用戶應(yīng)用的理想選擇。
SH-110泵符合歐盟(CE)、加拿大標(biāo)準(zhǔn)協(xié)會(huì)(CSA)和Semi S2-0200的要求。
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Agilent TV-301 Tubro渦輪轉(zhuǎn)子由永jiu潤(rùn)滑的高精度陶瓷球軸承支撐,該軸承安裝在泵的前排側(cè)。定子的靜葉片由不銹鋼制成。這些由墊片環(huán)支撐并精que定位。Macrotorr定子采用自定位的機(jī)加工盤形式,具有泵送通道和受相應(yīng)轉(zhuǎn)子盤限制的開口。這些由鋁合金制成。
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Agilent TV903 安捷倫渦輪分子泵保養(yǎng)
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真空泵的使用過程注意哪些?
1:真空泵在運(yùn)行過程中,軸承溫度不能超過環(huán)境溫度35C,溫度不得超過80C。
2:真空泵維修保養(yǎng)如發(fā)現(xiàn)真空泵有異常聲音應(yīng)立即停車檢查原因。
3:真空泵要停止使用時(shí),先關(guān)閉閘閥、壓力表,然后停止電機(jī)
4:真空泵在工作一個(gè)月內(nèi),經(jīng)100小時(shí)更換潤(rùn)滑油,以后每個(gè)500小時(shí),換油一次
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