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旋片式真空泵設(shè)備潤(rùn)滑系統(tǒng)完好，潤(rùn)滑油質(zhì)符合規(guī)定要求，并定期進(jìn)行檢查，換油。各種儀表（如真空表等）指示值正確，并定期進(jìn)行校驗(yàn)；各閥門啟閉靈活、密封良好，無(wú)泄漏現(xiàn)象；管道無(wú)泄漏，并定期進(jìn)行檢查。電動(dòng)機(jī)配備合理，運(yùn)行正常（溫升和聲響正常），電氣線路an全可靠，有接地保護(hù)措施，電氣裝置（控制柜）可靠，電氣儀表指示正確；安全防護(hù)裝置齊全可。設(shè)備及冷卻系統(tǒng)設(shè)施整潔，無(wú)銹蝕。水環(huán)式真空泵冷卻系統(tǒng)運(yùn)行正常，冷卻裝置完好，排水溫度不超過(guò)規(guī)定要求，應(yīng)有斷水保護(hù)裝置。
一般來(lái)說(shuō)所用的工作液都是水。礦用單軸振動(dòng)篩作用在轉(zhuǎn)子葉輪上的能量被液體接收并傳給被壓縮的氣體，這樣就造成了水環(huán)的溫度升高。水環(huán)的部分水與氣體一起壓縮排除泵外。在壓縮過(guò)程中產(chǎn)生的大部分熱量被帶走。因而需要不斷的補(bǔ)充新鮮的水，以使水環(huán)泵的工作溫度能夠維持恒定。
電子與微電子工業(yè)：微電子技術(shù)要求電子元器件和電路的尺寸越來(lái)越小，集成度要求越來(lái)越高。這與真空技術(shù)的應(yīng)用密不可分，特別是超大規(guī)模集成電路的微細(xì)加工技術(shù)，其幾何圖形結(jié)構(gòu)的形成、超薄層生長(zhǎng)技術(shù)、粒子束注入技術(shù)都需要高質(zhì)量、清潔的真空環(huán)境，可見其發(fā)展對(duì)真空技術(shù)、裝備的依存性。目前，日本真空廠商的銷售額中60%左右是面向電子工業(yè)，而當(dāng)今的超大規(guī)模集成電路大約有３／４的工序需要有真空條件。
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化工泵按輸送介質(zhì)分類：
1）水泵：包括清水泵、鍋爐給水泵、凝水泵、熱水泵。
2）耐腐蝕泵：包括不銹鋼泵、高硅鑄鐵泵、陶瓷耐酸泵、不透性石墨泵、襯硬膠泵、硬聚氯*烯泵、屏蔽泵、隔膜泵、鈦泵等。
3）雜質(zhì)泵：包括漿液泵、砂泵、污水泵、煤粉泵、灰渣泵等。
4）油泵：冷油泵、熱油泵、潛油泵、油漿泵、液態(tài)烴泵等。
微型抽氣泵實(shí)際是非常精密的儀器，跟普通的民用魚缸增氧氣泵有很大的不同，完全不具備可比性，價(jià)格比它們稍高也是非常正常的。即使與上常用的微型氣泵比，也要不少。
微型抽氣泵實(shí)際是非常精密的儀器，跟普通的民用魚缸增氧氣泵有很大的不同，完全不具備可比性，價(jià)格比它們稍高也是非常正常的。即使與上常用的微型氣泵比，也要不少。
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抽速定義：在真空泵的吸氣口處，單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)的氣體的體積稱為泵的抽氣速率。即氣體A的抽氣速率SA為流量QA除以這種氣體A的分壓力PA而得。一般真空泵的抽氣速率與氣體種類有關(guān)。
真空泵維修、抽不到真空泵的極限真空度：首先檢查真空系統(tǒng)的氣密性，看是否有輕微漏氣。其次應(yīng)打開氣鎮(zhèn)，讓泵運(yùn)行30分鐘左右,來(lái)抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸汽，排除可壓縮蒸汽對(duì)極限真空度的影響。
筒式牽引級(jí)是在圓筒形的轉(zhuǎn)子或定子的圓柱面上開一定斷面形狀的溝槽，如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋槽。由于簡(jiǎn)式牽引泵型線溝槽開在轉(zhuǎn)子圓柱外表面或泵體內(nèi)表面上，因此可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對(duì)氣體分子進(jìn)行動(dòng)量傳遞，提高泵的抽氣效果。在設(shè)計(jì)制造中，可以通過(guò)改變螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角(螺旋升角)來(lái)達(dá)到較理想的抽氣效果。
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