廣州潽拓光電科技有限公司——alcatel分子泵 高真空分子泵維修廠家
不同的真空系統(tǒng)要求的真空度不同。因此往往必須由一套真空機(jī)組來完成,即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來。高真空一側(cè)的真空泵能達(dá)到系統(tǒng)要求的真空度,而低真空一側(cè)的真空泵是直排大氣的。顯然*簡單的真空機(jī)組就是一臺直排大氣的真空泵。但高真空系統(tǒng)一般需要三級機(jī)組,中真空一般需要二級機(jī)組。高真空分子泵維修廠家
真空是指氣體壓力小于大氣壓力的狀態(tài)。真空度用帕斯卡(Pa)或托(Torr)來表示。在某些應(yīng)用中,需要制造非常低的真空。例如,在電子學(xué)中,需要多個級別的真空來生產(chǎn)半導(dǎo)體器件。真空主要通過真空泵來制造和維持。高真空分子泵維修廠家
一般真空泵設(shè)備的操作都比較簡單,大多正常生產(chǎn)過程中都不需要過多的人為操作,操作人員如果發(fā)現(xiàn)真空泵有異常狀況,為防止發(fā)生事故,應(yīng)立即切斷電源,及時報修。使用過程中,應(yīng)避免日光直射,遠(yuǎn)離熱源體。日常工作中應(yīng)做到每日點檢保養(yǎng)設(shè)備,保持無灰塵、無雜物,防止雜物進(jìn)入泵內(nèi)。高真空分子泵維修廠家
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羅茨真空泵是指具有一對同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機(jī)械真空泵,此泵不可以單獨抽氣,前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣。阿爾卡特進(jìn)口泵維修
它的結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似,工作時其吸氣口與被抽真空容器或真空系統(tǒng)主抽泵相接。這種真空泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間互不接觸,
采用機(jī)械方法周期性地改變泵內(nèi)吸氣空腔的容積,使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹,從而獲得真空的泵稱旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵。改變吸氣空腔的方式有水環(huán)式、滑閥式和旋片式等,這里先敘述旋片式機(jī)械真空泵。阿爾卡特進(jìn)口泵維修
轉(zhuǎn)動泵又稱為容積壓縮泵。它的原理是利用機(jī)械方法使一個工作室的體積周期性地擴(kuò)大和縮小以達(dá)到抽氣目的。它是一種前級泵,一般在工作室容積*小時和抽氣管的入口接通,于是氣體就進(jìn)入工作室,直到工作室容積*大并重新與抽氣管隔斷的時候才停止; 以后工作室容積逐漸變小,氣體就被壓縮,直到壓強大于1大氣壓時排氣閥就打開而驅(qū)出氣體。阿爾卡特進(jìn)口泵維修
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在某些中真空應(yīng)用中,需要進(jìn)入10-1Pa范圍,這對羅茨泵的二級機(jī)組往往難于實現(xiàn),而使用二級羅茨泵串接的三級機(jī)組可使真空度提高一個數(shù)量級而進(jìn)入10-1Pa,所以中真空應(yīng)用也常用三級機(jī)組。由于分子增壓泵在10-1Pa可以滿抽速,所以亦可以在三級中真空機(jī)組中取代兩級羅茨泵。一般地講,長時間工作在中真空的低端壓力范圍的羅茨泵,adixen ATP150分子泵維修,分子增壓泵可以完全取代。而長時間工作在中真空壓力范圍的羅茨泵相對而言應(yīng)該較少,因為這一壓力范圍前級泵往往還具有強勁的抽素。adixen ATP150分子泵維修
在羅茨真空泵中吸入氣體被壓縮的過程不是連續(xù)的,而是突然的。吸入氣體隨轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動而被封閉于腔內(nèi),又隨轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn),使腔內(nèi)的氣體突然與排氣口接通。由于排氣一側(cè)的氣體壓力較高,排氣口處的氣體就向腔中返沖,然后又隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而被驅(qū)趕排出泵外。這樣的過程在每旋轉(zhuǎn)一周中兩個轉(zhuǎn)子共進(jìn)行四次排氣過程。adixen ATP150分子泵維修
對于較大型的高真空應(yīng)用設(shè)備,adixen ATP150分子泵維修,也可適當(dāng)加強前級泵的預(yù)抽能力,進(jìn)一步縮短抽氣時間,由于預(yù)抽時間與整個排氣過程相比很短,所以前級泵的使用時間也很短,因此可以兼作多套設(shè)備的預(yù)抽作用,而這往往是非常現(xiàn)實的。這就使規(guī)?;瘧?yīng)用的真空機(jī)組得到大大的簡化。adixen ATP150分子泵維修
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