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軸承、減震維護(hù)?隨著分子泵使用時(shí)間延長(zhǎng),分子泵軸承在高速運(yùn)轉(zhuǎn)中受到的磨損越來越嚴(yán)重,減震系統(tǒng)的減震能力越來越差,到一定程度后必須進(jìn)行更換,否則可能出現(xiàn)更大程度的損壞。判斷標(biāo)準(zhǔn):分子泵的振動(dòng)突然增大,聲音出現(xiàn)異常;分子泵啟動(dòng)時(shí)間增長(zhǎng)或無法達(dá)到正常轉(zhuǎn)速。判斷標(biāo)準(zhǔn):分子泵的振動(dòng)突然增大,聲音出現(xiàn)異常;分子泵啟動(dòng)時(shí)間增長(zhǎng)或無法達(dá)到正常轉(zhuǎn)速。進(jìn)口分子泵維修電話
由于渦輪分子泵對(duì)于氣體的壓縮比很好,因此工作時(shí)油蒸汽的回流問題基本可以忽略不計(jì)。渦輪分子泵的極限真空度能達(dá)到10-8Pa的數(shù)量級(jí),抽速可以達(dá)到1000L/s,達(dá)到大抽速的壓力區(qū)間是1~10-8Pa之間,因此在使用時(shí)要以旋片機(jī)械泵作為其前級(jí)泵。進(jìn)口分子泵維修電話
清洗??分子泵使用一定時(shí)間后,在系統(tǒng)漏率和系統(tǒng)衛(wèi)生沒有變化的情況下,真空性能下真空性能下降很多,甚至長(zhǎng)時(shí)間烘烤也不能恢復(fù)其真空性能。這時(shí)應(yīng)對(duì)泵進(jìn)行清洗。?注意!!?分子泵如果污染嚴(yán)重,則必須完全拆開,由技術(shù)人員處理。嚴(yán)禁未經(jīng)培訓(xùn)和真空性能下降很多,甚至長(zhǎng)時(shí)間烘烤也不能恢復(fù)其真空性能。這時(shí)應(yīng)對(duì)泵進(jìn)行清洗。授權(quán)的人員私自拆泵。進(jìn)口分子泵維修電話
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兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子、定子內(nèi)腔和定蓋所圍成的月牙型空間分隔成A、B、C三個(gè)部分,當(dāng)轉(zhuǎn)子按圖示方向旋轉(zhuǎn)時(shí),與吸氣口相通的空間A的容積不斷地增大,A空間的壓強(qiáng)不斷的降低,當(dāng)A空間內(nèi)的壓強(qiáng)低于被抽容器內(nèi)的壓強(qiáng),根據(jù)氣體壓強(qiáng)平衡的原理,被抽的氣體不斷地被抽進(jìn)吸氣腔A,此時(shí)正處于吸氣過程。Alcatel分子泵控制器維修
1. 泵油量不足或油溫過高
泵油量不足會(huì)導(dǎo)致泵內(nèi)缺少潤(rùn)滑,從而使得機(jī)械泵軸承過熱,出現(xiàn)異常聲音。此時(shí)需要檢查油箱內(nèi)油的余量,若不足需及時(shí)添加。
油溫過高則說明泵內(nèi)散熱不良,需及時(shí)清洗冷卻器并檢查散熱風(fēng)扇是否正常工作。Alcatel分子泵控制器維修
在抽除有毒、腐蝕性等對(duì)人體有害的氣體時(shí),拆卸前,請(qǐng)先使用N2對(duì)真空泵進(jìn)行清掃,務(wù)必使殘留氣體盡數(shù)排出。請(qǐng)注意,運(yùn)行時(shí)真空泵零部件溫度很高,請(qǐng)?jiān)诒猛耆鋮s后再行拆裝,以免傷到自己。Alcatel分子泵控制器維修
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在某些中真空應(yīng)用中,需要進(jìn)入10-1Pa范圍,這對(duì)羅茨泵的二級(jí)機(jī)組往往難于實(shí)現(xiàn),而使用二級(jí)羅茨泵串接的三級(jí)機(jī)組可使真空度提高一個(gè)數(shù)量級(jí)而進(jìn)入10-1Pa,所以中真空應(yīng)用也常用三級(jí)機(jī)組。由于分子增壓泵在10-1Pa可以滿抽速,所以亦可以在三級(jí)中真空機(jī)組中取代兩級(jí)羅茨泵。一般地講,長(zhǎng)時(shí)間工作在中真空的低端壓力范圍的羅茨泵,adixen ATP150分子泵維修,分子增壓泵可以完全取代。而長(zhǎng)時(shí)間工作在中真空壓力范圍的羅茨泵相對(duì)而言應(yīng)該較少,因?yàn)檫@一壓力范圍前級(jí)泵往往還具有強(qiáng)勁的抽素。adixen ATP150分子泵維修
在羅茨真空泵中吸入氣體被壓縮的過程不是連續(xù)的,而是突然的。吸入氣體隨轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)而被封閉于腔內(nèi),又隨轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn),使腔內(nèi)的氣體突然與排氣口接通。由于排氣一側(cè)的氣體壓力較高,排氣口處的氣體就向腔中返沖,然后又隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而被驅(qū)趕排出泵外。這樣的過程在每旋轉(zhuǎn)一周中兩個(gè)轉(zhuǎn)子共進(jìn)行四次排氣過程。adixen ATP150分子泵維修
對(duì)于較大型的高真空應(yīng)用設(shè)備,adixen ATP150分子泵維修,也可適當(dāng)加強(qiáng)前級(jí)泵的預(yù)抽能力,進(jìn)一步縮短抽氣時(shí)間,由于預(yù)抽時(shí)間與整個(gè)排氣過程相比很短,所以前級(jí)泵的使用時(shí)間也很短,因此可以兼作多套設(shè)備的預(yù)抽作用,而這往往是非?,F(xiàn)實(shí)的。這就使規(guī)模化應(yīng)用的真空機(jī)組得到大大的簡(jiǎn)化。adixen ATP150分子泵維修
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