廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫真空分子泵
在Agilent TV-301的正常運行過程中,為電動機提供了933 Hz的54 Vac三相電壓。為了將啟動過程中的損耗降至zui低,頻率會根據(jù)具有較高初始電壓/頻率比的斜坡而增加。泵可以是水冷式或風冷式:第yi種情況下,客戶可以使用泵體上的zhuan用通道,第二種情況下,可以使用外部可選風扇。熱敏電阻傳感器安裝在上軸承附近,以防止泵過熱。
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典型的工業(yè)真空鍍膜應用,包括太陽能板和平板顯示器制造。Turbo-V 1K-G 的可靠設計和先進的電子設備、機架式或一體式解決方案,使其成為真空鍍膜行業(yè)的zu佳分子泵解決方案。
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VARIAN TV301 NAV 具有渦輪分子泵的集成系統(tǒng),具有相關的控制器,適用于高真空和超高真空應用。
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電壓的不穩(wěn)定,特別對磁浮類的分子泵損傷較大。前級泵的效率差;我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過前級泵抽出,真空達到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差,分子泵就會比較吃力,啟動速度慢,抽氣時間長,電流高,分子泵溫度升高等。